"스퍼터링 고찰" 검색결과 21-40 / 82건

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  [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 결과보고서

  고찰3.1 압력의 단위와 진공도 측정표준 상태 0도, 1기압, 1몰의 이상 기체는 22.4리터의 부피를 차지하므로 이를 통해 압력을 계산하면 1기압은의 값을 얻는다. ... 실험 요약본 실험은 아래의 스퍼터링 장비를 사용하여그림 스퍼터링 시스템의 구조실리콘 기판에 구리 박막의 증착시키는 실험이다. ... 실험 결과2.1 DC 스퍼터링먼저 DC 스퍼터링에서는그림 Basic DC sputtering system실리콘 기판을 적당한 직사각형 크기로 잘라 박막을 입혔고, 여기서 실험 조건은

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.03

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  하이엔트로피 합금발표자료

  클래딩을 통한 하이엔트로피 합금 코팅에 대한 연구는 미비하므로 코팅시 영향을 미칠 수 있는 레이저 출력 , 속도 , 분말 공급 속도 , 레이저 빔의 거리 등과 같은 인자에 대한 깊은 고찰도 ... 증착법 (physical vapor deposition) 은 증착 하고자 하는 물질을 원자 또는 분자 상태로 증발시킨 후 , 다양 한 필름 표면 상에 증착 되도록 하는 방법으로 , 스퍼터링 ... 다양한 물리적 기상 증착 중 스퍼터링 증착을 통해 하이엔트로피 합금 박막을 제조하는데 성공한 사례도 있습니다 .02’ 연구동스케일 시뮬레이션 , 연속체 역학을 결합한 Multi-physics

  리포트 | 24페이지 | 1,500원 | 등록일 2018.12.13

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  디스플레이 재료실험 기말레포트

  이 때문에 J-V curve가 현저히 낮은 효율을 보이는 것으로 생각된다.먼저 구조적인 측면에서 SEM을 고찰해 보았다.SEM을 통한 증착된 박막의 두께는 O2 Flow Rate가 ... 이것은 스퍼터링 증착 과정을 통해 생각해보았다. ... 살펴보면, 스퍼터링 동안 기판 위에서 박막의 핵이 성장하고, 이 핵들이 합쳐지거나 성장하면서 박막이 형성된다.

  리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2016.03.03 | 수정일 2017.05.09

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  분광특성 측정실습

  Al 을 도포한 glass ①,②의 스퍼터링 조건은 모두 같으나 스퍼터링 기기 안에서의 시편 홀더의 위치가 다르다. ... 파장의 빛을 나누어 측정해주는 UV-Visible 분광기를 이용해 분광기의 원리를 이해하고 각 재료별 나타내는 스펙트럼의 차이를 통해 각 재료별로 가지는 특성을 빛의 성질과 관련해 고찰해본다 ... 단, 측정할 재료를 홀더에 장착 시 빛이 투과하는 부분에 빈틈이 없도록 측정재료가 다 가리도록 한다.⑦ 각 재료들 모두 측정을 마치고 재료별 투과도 차이에 대해 고찰해본다.3.

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.07.02 | 수정일 2016.03.14

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  무기합성 및 분석화학 실험 결과보고서(제올라이트)

  토의 및 고찰이번 실험은 2주간에 거쳐서 제올라이트A 합성과 합성한 제올라이트A를 이용하여 이온교환실험을 하는 실험이었다. ... 현재 상용화되어 증착 공정에서 많이 사용되는 마그네트론-스퍼터링의 경우 입자의 이온화율이 10%를 넘지 못하는데 반하여 ICP-스퍼터링의 경우 약 80%까지 증가시킬 수 있는 것으로 ... 최근 ICP 발생 코일을 스퍼터링 장치 내부에 삽입하여 실리콘 기판 위에 금속물질을 증착하였는데 이때 금속의 이온화율이 기존의 스퍼터링법보다 월등히 증가하는 것이 발견되었다.내부 삽입형

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.11 | 수정일 2022.09.29

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  Reactive magnetron sputtering을 이용한 ZnO박막증착

  결과 및 고찰334.1. 셔터변수에 의한 증착특성334.1.1. SEM에 의한 분석334.1.2. XPS에 의한 분석35특성에 대한 기판의 온도 영향을 조사하고자 한다. ... 스퍼터링을 이용한 박막형성의 영향요소142.2.5. RF 스퍼터링152.2.6. Magnetron 스퍼터링182.2.7. RF 마그네트론 스퍼터링192.3. 플라즈마223. ... 스퍼터링82.2.1. 스퍼터링의 원리82.2.2. 스퍼터링의 특징122.2.3. 스퍼터율(sputter yield)132.2.4.

  리포트 | 57페이지 | 3,500원 | 등록일 2008.12.06

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  신소재공학실험 집적회로실험보고서 반도체 집적회로 IC

  고찰10. 참고문헌1. 실험주제 : 반도체 집적소자 제조 단위공정 실험2. ... 오염한 오염 가능성.(2) 스퍼터링의 종류(가) 직류 인가 스퍼터링(D.C Glow Discharge sputtering)가장 간단한 스퍼터링 구조로서 전도성 물질의 스퍼터링에 사용된다 ... (나) 라디오 주파 스퍼터링(radio frequency-sputtering)직류 인가 스퍼터링의 가장 큰 단점은 절연물질의 증착이 불가능하다는데 있다.

  리포트 | 37페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.06.29

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  플라즈마를 이용한 Sputtering과 식각 (GZO증착)

  따라서 스퍼터링 시간을 길게 해 박막의 두께를 높일수록 저항이 감소하게 되는 것이다. ... 스퍼터링 하게 되면 기판에 결정이 성장하는데 이 때 결정성이 높아지면 캐리어의 이동이 용이해져 저항이 감소하고 전도도가 증가한다. ... 목표 및 이론 ---------------- 2p실험 방법 및 장비설명 ---------------- 3p실험 결과 및 도표 정리 ---------------- 4-5p실험 결과 고찰

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.07.01 | 수정일 2019.06.07

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  DSSC시간변위

  염료감응형태양전지스퍼터링 시간 변위에 따른 효율비교-결과 보고서-목차1.실험목적2.기초이론 및 원리3.준비 기구 및 장치4.실험과정5.실험결과6.토의 및 고찰7.인용 및 참고문헌1. ... 토의 및 고찰지난 시간 동안, 여러 가지 조건에 따른 박막 증착 두께 비교실험과 TiO2 electrode의 코팅횟수에 따른 태양전지 효율비교 실험을 해보았다. ... 스퍼터링 시간 변위에 따른 TiO2 농도 비교 (좌부터 5분, 15분, 30분, 45분)6.

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.16 | 수정일 2018.05.10

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  스퍼터링

  스퍼터링 (sputtering)-결과 보고서-목차1.실험목적2.기초이론 및 원리3.준비 기구 및 장치4.실험과정5.실험결과6.토의 및 고찰7.인용 및 참고문헌1. ... 토의 및 고찰이번 실험은 연료 감응형 태양전지를 제작하기 위한 중요한 단계인 Sputtering를 통해 표면에 금속을 증착시키는 공정 기술을 배우는 시간이었다. ... 기초이론 및 원리1)스퍼터링(sputtering)이란?

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.16

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  면저항 측정기(4-point probe)의 이해와 방진복 체험

  -sputtering-스퍼터링(Sputtering)은 진공상태의 용기 안에 헬륨 등 불활성기체를 채워 코팅재료(타깃)에 고전압을 걸어 방전시키면 이온화된 불활성기체가 코팅재료에 충돌하게 ... *************09161Pt0.799250.791040.861010.788540.870120.821992wafer종류에 따른 면저항측정 수치(그래프)-고찰-이번실험은 각종의 ... Result and Discussion (결과 및 고찰)wafer종류에 따른 면저항측정 수치(표)1st2nd3rd4th5thaveSi121.57270139.90087119.53971128.67875129.16200127.771Sio2

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.12.13 | 수정일 2014.11.16

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  Cu film의 전기적 특성 분석 실험

  : as-dep , 100oC, 200oC, 300oC, 400oCAnnealing time : 30 minas-dep100℃200℃300℃400℃※ SEM, XRD 분석에 따른 고찰이번에 ... .- 기판이 과열되기 쉽다.Ⅱ) RF SputteringDC sputtering에서는 target이 산화물등 절연물체일 때는 스퍼터링이 되지않는다. ... 그러나 고주파(RF : radio frequency)를 사용하면 절연체도 스퍼터링이 되며 1/1000 ~ 1/10000 torr 같은 저압에서도 플라스마가 유지될 수 있다.

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.04.03

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  cu를 이용한 박막 증착 실험보고서

  고찰6. ... 최근에는 모재와 코팅층 사이에 스퍼터링, 침투확산, 이온믹싱, 화학반응 등의 표면반응을 통해 경사가능(graded interface)의 개념이 확립되어 우수한 밀착력을 얻을 수 있다

  리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.06.20

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  ITO 후막의 전기전도도 및 투과도 측정

  가장 우수한 특성을 갖기 위한 ITO 박막의 두께를 고찰한다.D. ... 보통 2"나 4" target을 사용하며 기판도 50mm~30mm이다.(4)스퍼터링(Sputtering)스퍼터링에서는 이온을 생성하기 위해 플라즈마를 사용하는데, 플라즈마 내에서 생성된 ... 디스플레이 용도로 쓰일때에는 스퍼터링을 사용해서 증착한다. ITO는 파우더형태로도 제조되고 분말 제조 방법은 크게 액상법과 기상법이 많이 응용되어지고 있습니다.

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.10.31

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  탄소나노튜브 성장 기술

  담당교수 :학 생 :목차실험목적 실험이론 실험방법 실험고찰 참고문헌기존의 탄소나노튜브 성장방법을 토대로 새로운기술 생각해보자 !! ... 성질열적성질기계적성질아크방전법기술코로나 방전법레이저증착법화학기상증착법열분해법HIPCO화학기상증착법탄소를 포함하고 있는 탄화수소기체와 기판으로는 전이금속이 사용됨, 따라서 성장 이전에 스퍼터링이나

  리포트 | 15페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.05.10

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  [기계공학실험] 마이크로 표면 측정

  종류를 살펴보면 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔 증착 법(E-beam evaporation), 열 증착 법 (Thermal evaporation), 레이저 분자 빔 증착 법 ... 표면의 친수성(hydrophilicity)와 소수성(hydrophobicity)을 알아보고 이의 마이크로 디바이스로의 응용과 표면개질(surface modification)에 대하여 고찰해본다 ... 결과 및 고찰1) 실험에 사용된 substrate의 종류에 따른 static contact angle의 그래프를 작성하시오.substrateAverage angleAl85.02Si71.52PDMS93.33nano

  리포트 | 10페이지 | 2,500원 | 등록일 2013.09.06

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  sputtering을 통한 metal deposition 및 I-V, C-V 측정

  C-V 측정C-V측정 장비를 이용하여 C-V를 측정 한다.실험결과 및 고찰1. ... Sputtering1) 스퍼터링 현상Glow discharge를 이용하여 ion을 형성하고 이를 전장으로 가속하여 고체 표면에 충돌시킨다. ... 서울대학교 플라즈마 표면 연구실 진공기술 강의자료'3.진공 증착 장비의 종류와 특징-스퍼터링'2. http://www.ee.byu.edu/cleanroom/ohmic-schottky.phtml3

  리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.04.21

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  GaN의 식각

  고찰 ………………………………………………………… 103. 참고문헌 ………………………………………………… 10Ⅰ. 서론1. ... 다만 CVD는 PVD보다 일반적으로 훨씬 고온의 환경을 요구합니다.PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation),

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2014.05.22

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  [반도체] 스퍼터링

  스퍼터링스퍼터링(sputtering) 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며[3], 현재는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다. ... Region I (이온 에너지, Ei < 20 eV)에서는 에너지가 너무 낮은 구리가 스퍼터링되지 않는다. ... Target 원자들은 그들의 에너지가 binding energy를 능가할 때 표면으로부터 방출되어 스퍼터링 된다.

  리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2002.12.08

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  CVD를 사용한 유리기판에 증착된 화합물 반도체 B13P2

  결과 및 고찰박막의 표면 거칠기 3차원 영상4. 결과 및 고찰B13P2와 MgO의 가시광선 투과도4. 결과 및 고찰박막의 XRD 결과스퍼터링 시간에 따른 원자의 농도5. ... 결과 및 고찰5. ... 저전압 및 누설 방전의 제어 측면에서 효과적인 재료로 평가 받음. * MgO의 단점 - 가시광선 대역에서 투과도가 불안정 - 흡수성이 높아 H2O와 같은 불순물의 흡착 - 방전 스퍼터링에

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.12.11

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