이 경험을 통해, PECVD 공정에서 보이는 Trade-Off 관계나 앞으로의 방향성을 찾을 수 있었습니다. ... 저를 포함한 2명은 여러 대회를 참여하며 코딩에 자신이 있었기 때문에 코드 작성을, 통계학과가 전공인 2명은 전공을 바탕으로 PPT와 논문 작성 역할을 맡았습니다. ... [공정 실습] PECVD 공정을 실습하며 박막 공정을 이해하고 온도,압력,N2,SiH4,N2O와 같은 Parameter을 조정하며 측정된 data의 특성을 비교해 봤습니다.
Resistive evaporation- One of the simplest processes of vacuum deposition- Materials such as iron, nickel, aluminum, copper, tin, silver, gold and pla..
기존의 CVD 가 APCVD, LPCVD, PECVD 와 같이 박막 증착 방법에 따라 종류를 구분했던 것과 달리 MOCVD 는 사용하는 원료 소스의 형태로 분류한 것 . ... 장점 단점 좋은 순도 높은 온도 균일도 좋은 step coverage 낮은 증착률 대량으로 처리 가능PECVD(plasma e nhanced CVD ) – 플라즈마 보강 기상증착 RF ... hot-wall CVD) - 냉벽 CVD(cold-wall CVD) 2) 여기 에너지 에 따른 분류 ① Thermal Energy : APCVD, LPCVD ② Plasma Energy : PECVD