"스퍼터링 펌프" 검색결과 1-20 / 155건

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  스퍼터링 장비(펌프,게이지,Sccm)

  오일로터리 펌프, 터보 펌프2. 이오닉게이지, 컨벡션게이지, 바라트론 게이지 작동원리3. Sccm단위 알아오기1. 오일로터리 펌프, 터보 펌프1-1. ... 오일로터리 펌프오일 로터리 펌프는 두가지 단계로 나눈다면 가스배출방식과 가스포집방식으로 구분 할 수 있다. 가스를 모아 펌프 내에서 밖으로 이동시켜 배기시키는 방법을 말한다.-. ... 보통 2차 펌프로 사용되는데 1차펌프가 필요한 진공도 까지 먼저 배기를 해놓아야 한다.

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.18

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  투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리

  -활성탄의 교체가 주기적으로 필요하다.이온 펌프(ion pump)특징-이온화 과정을 이용하기 때문에(Sputter ion pump)라고 부르기도 한다.장점단점-배기 성능이 뛰어나지만 ... -가스 포집방식의 펌프(비교적 고진공을 만듦)크라이오 펌프(Cryo pump)특징-압축기와 저온봉이 일체화된 스터링 형과 저온봉은 펌프내에, 압축기는 따로 외부에 설치하는 G-M형으로 ... 정의2.2전공펌프의 종류2.3진공펌프의 원리3.진공 게이지3.1진공 게이지의 정의3.2진공 게이지의 종류 및 원리4.스퍼터링4.1스퍼터링의 정의4.2스퍼터링의 종류4.3스퍼터링의

  리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.03 | 수정일 2019.07.04

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  ppt 발표 자료 / 박막공정 / PVD / 설명 애니메이션 포함 / ppt 템플릿

  ) 전자빔 증착법 (E-beam Evaporation) 스퍼터링 (Sputtering)3.PVD 스퍼터링 (Sputtering) 기판 (Substrate) 외벽 (Chamber) 진공펌프 ... Evaporation) 기판 (Substrate) 외벽 (Chamber) 진공펌프 (Vacuum Pump) 노 (Furnace)3.PVD 열 증착법 (Thermal Evaporation ... (Chamber) 진공펌프 (Vacuum Pump) 수냉로 Water-Cooled Furnace ( ) 필라멘트 (Filament)3.PVD 열 증착법 (Thermal Evaporation

  리포트 | 14페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.05.17 | 수정일 2020.05.21

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  진공공학 스퍼터링 과제

  이러한 진공을 만들어 주기 위한 진공펌프와 연결되는 펌핑 부분이 그림의 아래쪽에 존재한다. ... 따라서 점점 스퍼터링의 효율이 감소하고 결국 스퍼터링이 일어나지 않을 수 있다. 따라서 부도체 물질로 박막을 형성할 경우에는 DC스퍼터링 보다는 RF스퍼터링을 이용하게 된다. ... 마지막으로 캐소드 쉴드 라는 장치는 원하는 음극기판에서만 스퍼터링이 일어나도록 하는 역할을 한다.이러한 스퍼터링에서 음극에 가해주는 전압의 종류에 따라 직류전압을 인가할 때 DC 스퍼터링

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.06.03

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  스퍼터링, RIE 실습 레포트

  우선 Roughing valve를 열어 로터리 펌프(Rotary pump)를 이용해 대기압에서 저진공 상태(3.0 TIMES 10 ^{-2}Torr)로 만들어준다. ... 그리고 Roughing valve를 잠가주고 Main valve와 Throttle valve를 열어 디퓨전 펌프(Diffusion pump)를 이용해 저진공에서 고진공 상태(5.0 ... (약 5분)③ Roughing valve를 잠그고 Foreline valve, Main valve, Throttle valve 순으로 연다.④ Diffusion pump를 이용하여

  리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.06.28

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  Evaporator_Sputter 레포트

  챔버는 펌프를 사용하여 높은 진공상태를 유지시키고, 아래쪽에는 증발시킬 재료인 소스를 설치하고, 위쪽에는 기판을 장착한다. ... DC 스퍼터링에서는 타켓이 산화물이나 절연체일 경우에는 스퍼터링이 되지 않으나, RF 스퍼터링에서는 해결이 가능하고 낮은 Ar 압력에서도 플라즈마가 유지될 수 있다. ... 그 외에도 비금속, 절연체, 산화물, 유전체 등의 스퍼터링이 가능하며 주로 13.56MHz의 고주파 전원을 사용한다.Magenetron 스퍼터링은 타겟(Cathode)의 뒷면에 영구자석이나

  리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08

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  [박막공학실험]이온스퍼터링과 탄소코팅

  챔버는 펌프를 사용하여 높은 진공상태를 유지시키고, 아래쪽에는 증발시킬 재료인 소스(증발원)을 설치한다. 그리고 위쪽에는 기판을 장착한다. ... 이온스퍼터링과 탄소코팅1. 실험 목적가. ... 이것을 공업적으로 응용한 것이 스퍼터링이다.

  리포트 | 9페이지 | 3,500원 | 등록일 2023.03.07

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  재료공학실험(세라믹) 최종 보고서

  장치 구성-Pump : 스퍼터링 내를 진공 분위기로 만들기 위한 장치-MFC (Mass Flow Controller) : 장치에 가스를 주입할 때 정확한 양 조절을 위한 장치-Chamber ... 실험장비3.1 스퍼터링-시편: SiO2, Si, 유리-다이아몬드커터: 시편 절단에 이용-용액-아세톤, 에탄올, 이소프로필알코올: 절단 시편 세척에 이용-초음파세척기그림 6 스퍼터링 ... 따라서 원활한 스퍼터링을 위해선 높은 파워(전원)과 적당한 챔버 내 가스 압력이 필요하다.

  리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2022.09.08

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  반도체 PVD 공정의 종류와 원리

  구조를 살펴보면, 펌프 내는 원통형의 공간(실린더)이 있고 기체분자가 들어오는 흡입구와 밖으로 내보내는 배출구가 달려있다. ... 작동 원리Rotary Pump 구조기본적으로 흡입-고립-압축-배기의 순서로 이루어진다. ... 입자들은 직선방향으로 나아가려는 경향이 있기 때문에 물리적 방법으로 도포되는 박막은 일반적으로 방향성을 가진 상태가 된다.PVD의 종류PVD증착(Evaporation)스퍼터링(Sputtering

  리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.11.09

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  반도체 공정 term project

  Pumping : 챔버에서 연결된 배출구로 펌프가 연결되어 있는 부분이다. 1차, 2차 펌프가 연결이 되어있다. 이 부분에 콕 형태의 밸브가 달린 것도 있다. ... 이러한 현상을 물리학에서는 “sputtering”이라고 말한다.1)DC 스퍼터링1. ... 사용 및 응용분야스퍼터링 방법의 응용분야 및 생산제품분 야생 산 제 품기 계 용공구용 고경도 코팅, 고체 윤활제, 비행기 엔진부품,착륙기어, 자동차 엔진 부품전 자 용반도체, 저항재료

  리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2023.06.22

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  카이스트(한국과학기술원) KAIST 일반대학원 기계공학과 자기소개서 연구계획서

  방식을 이용한 불소 고분자 대면적 박막 코팅 기술 연구, 전기자동차 히트펌프 시스템의 폐열 회수 전략을 위한 예측 최적화 방법 연구, 바코팅 기법을 이용한 대면적 고분자 분산형 액정 ... 대한 유량 계수의 영향 연구, 고분자 태양 전지의 광전지 및 기계적 특성에 대한 엘라스토머 함유 광활성 블록 공중합체의 강성 블록 길이의 영향 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 스퍼터링

  자기소개서 | 1페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.06.25

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  [신소재공학실험]미세 조직 관찰 및 화상분석

  그 밖에 진공을 위해 펌프 등을 사용한 배기계가 있다.나. ... (일반적인 마그네트론 스퍼터링의 자기장은 부분적으로 혹은 전체적으로 자성 target에 의해 비껴지게 된다.)3. 실험 방법가. ... 더욱이 활동적인 배경가스를 사용하면, 반응성 이온빔 스퍼터링이 가능하다. 이 기술은 자성물질의 박막을 필요로 하는 용도에 매우 성공적이었다.

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2022.03.21

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  ALD 예비보고서

  PVD는 열증발법, 전자빔증발법, 스퍼터링법으로 나뉜다. ... 마지막으로 반응 부산물을 Pump를 이용해 제거한다. 이러한 과정에서 열분해, 광분해, 환원법, 산화작용, 산화환원반응 등 화학적인 반응이 일어난다. ... PVD 종류열증발법(thermal evaporation)전자빔증발법(e-beam evaporation)스퍼터링법(sputtering)증착 시키고자 하는 물질을 보트 위에 올려두고 보트를

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.12.16 | 수정일 2021.04.08

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  스퍼터링, 알파스텝과 시편 관련 조사 보고서

  start 버튼을 누르면 로터리 펌프에서 공기가 빠져나간다. VACCUM의 범위가 일정수준 이하로 떨어져 챔버 내부가 저진공 상태가 되면, Pt Coating이 시작된다. ... 실험 목적ion coater를 사용하여 기판(OHP, Al, Si wafer, Glass)에 백금을 스퍼터링하고, 알파스텝을 통해 단차를 알아본다. ... 스퍼터링보고서목 차1. 실험 주제22. 실험 목적23. 관련 이론 및 실험 방법21) sputtering22) Alphastep33) scratch tester34.

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.11.24 | 수정일 2021.05.26

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  [신소재공학실험]진공 및 박막 실험

  박막 제작1) 알루미늄,TiO _{2}, Mo보트, 슬라이드 글라스, 면도날, Bell jar, Electron beam, Rotary pump2) Oil diffusion pump ... 이렇게 큰 에너지를 가진 충돌입자는 표면이동이 비교적 용이해 매 우 치밀하고 물성이 우수한 박막을 형성하게 된다.④ 스퍼터링이다.3) 박막 측정 방법만약 쐐기의 각도가 각 표면에 대해서 ... 진공펌프를 사용해서 용기 속의 기체분자를 뽑아내어 진공을 얻는다.

  리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.08.28

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  나노화학실험 CVD 예비보고서

  녹는점이 높은 재료의 증착에 사용한다.Sputtering(스퍼터링) : 높은 에너지를 가진 이온(plasma)들이 target(증착재료)에 충돌하면, 주변 target원자들에 에너지가 ... Vane Pump-원리흡입 : rotor가 회전하면서 기체 분자를 펌프안으로 주입시킨다.고립 : vane이 흡입구를 차단해 기체분자들이 외부로부터 고립된다.압축 : vane이 회전하면서 ... , 탈기장치확산펌프, 피스톤펌프고진공(High Vacuum)10-3Torr~10-7Torr진공코팅, 진공합금, 신소재합금, 진공동결건조흡착펌프, 승화펌프, 확산펌프, 터보분자펌프초고진공

  리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2020.06.30 | 수정일 2021.05.30

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  Glow discharge

  또한 스퍼터링이라는 표면 처리 기술에 사용된다.글로우방전을 이용한 사례는 이 외에도 글로우방전 질량분석법을 이용하여 구리 박막내의 미량불순물의 농도분석과 음의 기판 바이어스에 대한 ... 진공펌프에 구멍이 나있기 때문에 방전관의 마개로 방전관을 밀폐시킬 수 없기 때문에 마개를 열어둔 채로 진공펌프를 계속 작동 시키면서 실험을 진행하였다. ... 이로 인해 플라즈마 상태의 기체가 진공펌프 쪽으로 흡입되어 원래의 형태를 갖추지 못한 상태가 되었다고 생각한다.

  리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.03.02 | 수정일 2020.03.03

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  정보디스플레이학과 광전자공학 4차 결과 보고서 Fabrication of CNT emitters as the an electron beam source, Fabrication of a phosphor, CNT 특성 관찰

  로터리 펌프로 저진공을 잡아준 후에, Turbo pump를 이용해서 10^-6~10^-7 Torr정도 되는 고진공을 만들어준다.CNT Emitter이전 실험에서 만든, photography로 ... Etching의 경우 그러한 부분에서 발생할 수 있는 부정확도를 낮추기 위해 니켈이 스퍼터링 된 유리 조각을 먼저 Etching 용액에 집어 넣어 Etchant rate를 대략적으로

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2024.01.30

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  Patterning and treatment of SiO2 thin films 결과보고서 인하대학교 A+

  변화를 확인한다.실험방법수도라인 밸브 및 가스밸브를 모두 열어줍니다.시료를 준비하고 시료를 챔버에 넣기전에 블로워로 먼지를 제거해줍니다.챔버에 넣고 RV버튼을 눌러 Rotary pump와 ... 원하는 RF power를 맞춰줍니다.실험시간 1분30초동안 진행하고 시간이 다되면 0W로 돌린 후 OFF시킵니다.가스를 모두 닫아주고 RV버튼을 눌러 밸브를 닫고 RP버튼을 눌러 펌프를 ... 그 이유는 RF power가 증가할수록 플라즈마 밀도가 증가하는 데에 있는데, 이로 인해 전자와 이온의 에너지가 증가하게 되고, 따라서 높은 강도의 물리적인 스퍼터링 및 화학적인 반응이

  리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.01.02

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  [신소재공학실험]박막 실험

  같은 원리로, 배수 펌프장이나 우물 등에서도, 진공을 이용해 물이나 기타 액체를 빨아올리고, 요즘은 아파트에서 중앙 집중식 음식물 쓰레기 수거용 이송작업에도 진공을 이용하고 있다. ... 스퍼터링 방법은 다음과 같은 장, 단점이 있다.장점- 넓은 면적에서 균일한 박막두께 증착 가능- 박막 두께의 조절이 비교적 용이함- 진공증착에 비하여 보다 정확한 합금 성분 조절 가능단점

  리포트 | 9페이지 | 3,600원 | 등록일 2022.08.28

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