"터보분자펌프" 검색결과 121-140 / 164건

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  [진공]진공도

  )10-7Torr 이하원자핵 연구장치 ,전자 현미경 Plasma발생기, 물리 실험 장치터보 분자 펌프, 저온 냉각펌프, 흡착 펌프1. ... )10-3Torr-10-7Torr진공코팅, 진공 동결 건조, 진공 합금 ,신소재합금확산펌프, 터보 분자 펌프, 흡착펌프, 저온 냉각 펌프, 승화펌프초고진공 (Ultrahigh Vacuum ... 로타리 베인 펌프일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프이다.

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.04.20

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  유체기계

  분출증기류에 보조진공의 기체분자가 혼입됨과 동시에 혼류가 냉각된 실린더 내벽에 부딪쳐 유증기는 응결하여 액체로 되어 벽면에 따라 펌프의 밑바닥으로 돌아옴.이와 같은 작용을 하면서 흡입된 ... , ㉢압축공기터보형송풍기 팬(fan) 원심팬 다익팬(시로코)사류팬 레디얼팬축류팬 터보팬(후향팬)횡류팬 익형팬블로워 원심블로워사류블로워축류블로워터보형압축기 원심압축기나 다른 기체를 압축해서 ... 확산펌프 작동을 위해 먼저 보조펌프에 의해 예비진공을 만들고 펌프 밑바닥의 수은또는 기름을 가열하여 증발상승 시켜 노즐에서 교축되어 원통내를 하향으로 고속도 분출시킴.

  리포트 | 16페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.09.28

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  No.26 진공 정보의 지식화

  Oil Rotary Vane Pump3. Dry pumping Technology4. 부스터 펌프에 관하여5. 터보 분자 펌프의 작동 원리 및 전망6. ... 진공펌프진공펌프의 기능과 종류유회전 진공펌프 / 건식 진공펌프분자펌프 / 증기펌프 / 게터펌프게터 이온펌프 / 저온펌프3. ... Cryo pump에 대해서7. 오일 확산 펌프(Diffusion pump)8. Getter pump에 관하여9. 이온 주입 장치의 진공 문제에 관하여10.

  리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.11.28

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  진공펌프의 종류 및 특징

  저온 펌프의 구조와 원리 >☞ 터보 분자 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP)이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 ... 가진 저 회전자와 그사이에 있는 고정자를 써서, 공기의 입자운동에 일정한 방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 것이다.터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 ... 확산 펌프의 구조와 원리 >☞ 저온 펌프 (CRYO PUMP)120K이하의 극저온 상태에서 기체를 응결시키거나 응결체 안에 가두어 둠으로써 진공 상태를 발생시키는 장치, 냉각 매체로는

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.08

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  [일반물리]진공

  기계적으로 운동하는 부분도 없고 구조도 간단하다.◈ 고진공 이상의 펌프오일확산 펌프, 스퍼터 이온 펌프, 게터 펌프, 터보 분자 펌프, 크라이오 펌프 등이 있다.◎ 반도체 공정에서 ... ****다단 루츠펌프**********스크루 펌프*******************크로형 펌프******************터보 펌프************************** ... 진공 펌프는 외부에서 공급되는 에너지를 이용하여 chamber 내부의 공기를 chamber 밖으로 뽑아내거나 아니면 펌프 내의 특정한 위치에 공기 분자들을 잡아 가두어 공기 분자들이

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.12

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  [공학]OM과 TEM

  구성 확산펌프, 터보 펌프, 이온 펌프등TEM의 특징분해능이 0.18nm이하로 상당히 높기 때문에 물질의 분자, 원자수준의 미세구조를 관찰 할 수 있고, 전자회절현상을 이용하여 물질의 ... 광디스크 등에 기록하여 보존하고, 외부 CPU화상처리,화상해석 병행TEM의 구성전자총계전자 렌즈계진공 배기계시료계관찰기록 검출계진공배기계자선의 통로를 진공으로 유지시키기 위해 각종 배기펌프로

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.19 | 수정일 2016.01.14

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  [물리실험]고진공 및 잔류가스 분압 측정

  : 터보 분자 펌프는 이 실험을 하는데 사용된 펌프로, 기체 분자들의 운동량과 방향을 제시하여 고속 회전 표면을 이용함으로써 배기하고, 부드럽게 작동하여 시스템 작동에 있어서 진동이 ... 용기 내의 가스를 용기 밖으로 뽑아내는 방식을 말한다.2> 기체축적방식 : 가스를 용기에 붙어 있는 펌프 내에 붙잡고 있는 방식을 말한다.- Tubormolecular pump - ... 진공펌프 : 진공펌프의 분류는 여러 가지로 할 수 있지만, 용기내의 압력을 낮추는 또는 기체 분자 밀도를 낮추는 방법에 따라 크게 두 종류로 나뉘어 질 수 있다.1> 기체수송방식 :

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.07

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  반도체, 진공펌프, TFT

  터보분자 펌프의 배기 원리(pumping mechanism)위의 그림 5는 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가는 모습을 나타낸 그림이다.터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 ... (SMP: 로터리펌프 배기 속도, SDP: 오일펌프 배기속도, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)2.4. 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)그림5. ... 또한 작동 원리에 따른 분류로는 크게 positi키는데 이 경우 루츠펌프와 동시에 사용을 하면 이상적이라 하겠다.2.3 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)(B)그림4

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.04.01

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  [화학실험]비정질벌크 및 박막제조(pre레포트)

  방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 것이다.터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되는 전자 현미경이나 각종 반도체"이라고 ... 분자 펌프이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 저 회전자 와 그사이에 있는 고정자를 써서, 공기의 입자운동에 일정한 ... 장치, 냉각 매체로는 주로 액화질소나 액화헬륨을 사용하는데, 초고진공 영역에서 배속도가 매우 크므로, 우주선 실험 등 여러 분야에서 높은 진공도를 얻는데 많이 쓰이고 있다.{(5)터보

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.02

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  압축기의 역할 및 종류

  터보 압축기 5). 스크류식 압축기압축기의 역할1. ... 분자들이 매우 밀집되어 있어 상온에서 액화가 쉽게 되도록 함.2. ... 대용량의 것도 제작하기 쉽고 진동도 적다. ③ 마찰부의 가공에 정밀도와 내마모성이 요구되나 신뢰도만 확보되면 고압축비를 얻을 수 있다. ④ 압축이 연속적이고 고진공을 얻을 수 있어 진공펌프로

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.12.17

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  오엘이디보고서

  저진공을 뽑는다.- 로터리 펌프를 이용하여이하 까지 저진공을 뽑고 그 이상의 고진공은 터보 펌프를 이용하여까지 고진공을 뽑는다. ... 증발원으로부터 기판까지의 원자 또는 분자의 이동.? ... 기판위의 이들 원자 또는 분자들의 흡착.④ 기판 표면에서 particle들의 결합력의 변형 및 재배열 등의 물리적인 단계에 의해서 이루어진다.실험방법1.

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.01.22

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  압축기에 대한 기본적 이해

  터보 압축기 5). 스크류식 압축기압축기의 역할1. ... 분자들이 매우 밀집되어 있어 상온에서 액화가 쉽게 되도록 함.2. ... 대용량의 것도 제작하기 쉽고 진동도 적다. ③ 마찰부의 가공에 정밀도와 내마모성이 요구되나 신뢰도만 확보되면 고압축비를 얻을 수 있다. ④ 압축이 연속적이고 고진공을 얻을 수 있어 진공펌프로

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.01.28

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  [진공 펌프] 각종 진공펌프와 장단점

  터보 분자 펌프 시스템? ... 단점 : 기계적 펌프가 필요, 정확한 기계적 오차 허용, 베어링에 냉 각과 윤활유가 필요,이하, 시끄럽다5. 이온 펌프 시스템? ... 단점 : 입자에 민감, 기계적 펌프가 필요, 높은 rpm(소음/진동), 수소 와 헬륨에 대해서 저속, 유지 보수비용이 비싸다,이상, 초기 설치비가 비싸다3. 크라이오 펌프 시스템?

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.07.19

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  [재료공학]DC Sputtering시 진공펌프의 종류

  수봉식 펌프 (LIQUID RING PUMP)? 터보 분자 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP)? 확산 펌프 (DIFFUSION PUMP)? ... 로타리 기어 펌프 (ROTARY GEAR PUMP)? 피스톤 펌프 (PISTON PUMP)? 다이아후렘펌프 (DIAPHRAM PUMP)? 루츠 펌프 (ROOTS PUMP)? ... 게터 펌프 (GETTER PUMP)? 승화펌프 (SUBLIMATION PUMP)? 저온 펌프 (CRYO PUMP)?

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.18

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  [진공]진공에 대하여

  ), 터보분자펌프(turbomolecular pump) 등 대부분의 기 계적인 펌프가 이에 속한다. ... '포획펌프(capture pump)'라고도 부른다. 진공용기 내부의 공간으로부 터 기체분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부 를 수 있다. ... 흡착펌프(sorption pump)나 냉온펌프(cryopump)가 이에 속한다. 이 들 중 이온펌프(ion pump)는 기체의 형태를 바꾸는 펌프로 따로 분류하기도 한 다.

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.10.10

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  [진공] 펌프와 게이지

  Turbo moleculor Pump터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어진다는 ... Diffusion Pump(확산펌프)≫ 오일증기가 아래쪽을 향하여 분사되어 배기되는 가스 분자가 분사류속으로 확산하여 분사류 방향으로 압축되어 배기된다.≫ 펌프용기, 확산펌프오일, ... Rotary Mechanical Pump일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본원리는 옆의 그림과 같다.

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.04.09

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  [반도체공정]반도체 기초공정

  진공도는 진공계로 측정하며, 진공펌프로는 기름의 증발 등 오염물질이 발생하지 않는 스퍼터이온펌프 ·터보분자펌프 ·크라이오펌프 등을 많이 사용한다. ... 초고진공 상태에서는 1㎤ 중의 기체분자가 266만 개로 적어지며, 고체 표면을 1분자층만큼 덮는 데 4시간이 소요된다.초고진공에서는 기체분자끼리의 충돌이 적어지고, 기체분자가 서로 ... 우주공간은 초고진공으로 되어 있는데, 지구상에서 초고진공을 만들기 위해서는 진공펌프와 진공용기가 필요하다.

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.02.02

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  전기와 자기

  번개가 일어나는 것을 방지전하의 분극 전기적으로 분극 - 대전된 막대를 절연체에 가까이 가져가면 원자는 상대적으로 고정된 위치에서 움직이지 않지만 각 전하의 중심이 움직여져서 원자나 분자의 ... 흐름전류 전류 = 전하의 흐름 전류의 단위 = 암페어(A) 1암페어 = 1초에 1쿨롱의 전하가 흐른다 전원 전류가 흐르기 위해서 전기 퍼텐셜차, 즉 전압차가 형성될 수 있게 하는 전기펌프 ... 자기장 내에서 움직이는 전하는 운동 방향과 자기장의 방향에 수직인 방향으로 힘을 받는다 도선의 편향력을 전동기 효과라 하고, 유도 법칙에 의한 결과를 발전기 효과라 한다전력 생산 터보

  리포트 | 52페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.24

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  [물리과 실험] 글로우방전

  Vacuum Pump (진공펌프)대기압 이하의 저압기체를 빨아들이고 압축해서 대기 중으로 방출함으로써, 용기 내의 {진공도를 높이는 장치. 압축기의 일종이다. ... {압축기로 사용이 가능한 것은 모두 {진공펌프로 사용이 가능하며, 다단(多段)터보압축기 왕복압축기 나사압축기 루츠 블로어(roots blower) 등이 기계적 진공펌프로 쓰이고 있으나 ... 이온펌프는 양극과 음극사이에 높은 전위차를 주고, 그것에 의하여 유도된 전자를 기체분자와 충돌시켜 분자를 이온화시킨다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.22

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  [냉동]에어컨의 원리, 다른 방식의 냉동 시스템

  또한 분자 사이의 거리가 매우 좁아져 단위 체적당 분자수가 증가한다. 즉 분자들이 매우 밀집되어 있어 상온에서 액화가 쉽게 되도록 한다.{압축기의 종류1. ... 압축을 인해 냉매 기체분자의 운동에너지가 증가하여 분자충돌로 인해 에너지를 얻어 냉매가스의 온도가 올라갑니다. ... 종류의 실내기를 조합한 복합형과 천장카세트형, 천장매립덕트형, 벽걸이형, 코너형 등을 설치할 수 있어 인테리어 비중이 커지는 최근 건물에 적합하다.{{3) 흡수식 냉동흡수식냉동기는 터보냉동기

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.01.28

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