"터보분자펌프" 검색결과 81-100 / 164건

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  진공펌프에 대한 자료

  터보분자 펌프의 배기 원리(pumping mechanism)옆의 그림 5는 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가는 모습을 나타낸 그림이다.터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 ... 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌 프가 이에 속한다 ... (SMP: 로터리펌프 배기 속도, SDP: 오일펌프 배기속도, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)2.4. 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)그림5.

  리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.10.04

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  진공펌프의 종류

  PDP : 흡입구압보분자 펌프의 배기 원리(pumping mechanism)- 옆의 그림 5는 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가는 모습을 나타낸 그림이다.터보 분자 펌프는 ... 일반적인 터보 분자 펌프의 구조 및 회전자(rotator)와 고정자(stator)의 작동에 따른 분자 경로의 변화- 그림 7에 일반적인 터보 분자 펌프의 구조를 나타내었다. ... 여러 가지 진공펌프의 작업 가능 압력- positive displacement 펌프 : 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프(rotary vane pump), 터보

  리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.10.19

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  진공

  수봉식 펌프 (LIQUID RING PUMP)? 터보 분자 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP)? ... 분자 펌프, 흡착펌프, 저온 냉각 펌프, 승화펌프초고진공Ultrahigh Vacuum10～7Torr 이하원자핵 연구장치 ,전자 현미경 Plasma발생기, 물리 실험 장치터보 분자 ... 로타리 기어 펌프 (ROTARY GEAR PUMP)? 피스톤 펌프 (PISTON PUMP)? 다이아후렘펌프 (DIAPHRAM PUMP)? 루츠 펌프 (ROOTS PUMP)?

  리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.27

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  [공학]Turbo pump 조사

  ※ 터보 분자 펌프(Turbomolecular pump)단순히 ‘터보 펌프(Turbo pump)’라고 부르기도 한다. 1958년 Becker에 의해 고안되었고, 많은 진공회사들이 이를 ... 터보 펌프의 상부는 고진공(UHV) 상태이고 하부는 저진공 상태이므로 터보 펌프의 회전 속도가 어느 정도 이하로 떨어지면 보조 펌프(Backing pump)의 오일 분자가 역류하게 ... 또한 분자 드레그 펌프(Molecular drag pump)가 같은 축의 뒷부분에 붙어서도 비슷한 성능을 발휘할 수 있다.?

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.10.19

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  [박막공학]진공펌프의 종류와 진공게이지

  인위적으로 진공을 만드는데 사용 되고 있으며 진공을 만드는 정도와 방법에 따라 여러 종류의 진공 펌프가 존재한다.진공 펌프의 종류확산 펌프, 터보분자펌프, 흡착 펌프, 저온 냉각 ... 펌프진공코팅, 진공 동결건조, 진공합금, 신소재 합금10-3Torr-10-7Torr고진공터보분자펌프, 흡착 펌프, 저온 냉각 펌프원자핵 연구 장치, 전자 현미경, 플라즈마 발생기, ... 로터리 펌프는 배기 속도가 떨어지고 오일 역류 등의 문제→루츠펌프와 동시에 사용을 하면 이상적터보분자펌프매우 청결한 기계적 펌프 5X10-10torr보다 더 적은 압력에 도달 할 수

  리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.21

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  Linear RICEM Performance 실험, 내연기관 실험

  냉각팬, 냉각수 펌프, 윤활유 펌프, 발전기 등 각종의 부속장치 구동에 요하는 손실이들 손실 동력의 합을 마찰 동력(friction power)이라 한다. ... 가구언소의 분자량은 탄소=12, 수소=2,황=32이고, 산소의 분자량은 32이다.2.3 당량비(Stoichiometric ratio, SR)연료와 공기 또는 산소가 완전 연소하는 경우의 ... 자연흡입 4행정 스파크점화기관의 imep는 이것과 상사한 터보과급기관의 imep보다 낮다.

  리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.01.01

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  진공 기초 (진공 기술 및 펌프)

  molecular pump터보분자펌프molecular drag pump분자드래그펌프분자펌프운동량 전달식claw pump클로펌프scroll pump스크롤펌프screw pump스크류펌프roots ... 그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야만 한다.Oil Diffusion Pump터보 분자 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 ... pump루추펌프trochoid pump트로코이드펌프rotary piston pump회전피스톤펌프rotary vane pump회전베인펌프liquid ring pump액체링펌프회전식diaphragm

  리포트 | 19페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.08.25 | 수정일 2017.12.04

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  [반도체공정]진공펌프의 종류와 원리

  PumpDrag Pump+Motor and Bearing복합형 터보-분자드래그 펌프Molecular Drag PumpHigh Vacuum PumpsConclusionMechanical ... 인위적으로 진공을 만드는데 사용 되고 있으며 진공을 만드는 정도와 방법에 따라 여러 종류의 진공 펌프가 존재한다.진공 펌프의 종류확산 펌프, 터보분자펌프, 흡착 펌프, 저온 냉각 ... 펌프진공코팅, 진공 동결건조, 진공합금, 신소재 합금10-3Torr-10-7Torr고진공터보분자펌프, 흡착 펌프, 저온 냉각 펌프원자핵 연구 장치, 전자 현미경, 플라즈마 발생기,

  리포트 | 27페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.11.09

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  No.22 진공 관련 강좌 자료 현황

  Oil Rotary Vane Pump3. Dry pumping Technology4. 부스터 펌프에 관하여5. 터보 분자 펌프의 작동 원리 및 전망6. ... 진공펌프개론유회전펌프루츠펌프드라이펌프유확산펌프터보분자펌프게터펌프스퍼터 이온펌프수착펌프저온펌프진공펌프의 비교6장. 진공계측낮은 압력의 측정전압게이지분압게이지전? ... Cryo pump에 대해서7. 오일 확산 펌프(Diffusion pump)8. Getter pump에 관하여9. 이온 주입 장치의 진공 문제에 관하여10.

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.11.28

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  [OLED, LED] Sputtering을 이용한 박막 증착

  특성도 로타리 피스톤 타입의 펌프와 대동소이한다.④ 터보분자 펌프(turbo pump)이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 ... 터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되는 전자 현미경이나 각종 반도체 생산 및 실험실 장비등에 많이 쓰이고 있다. ... 실험원리- 진공 PUMP의 종류 및 원리① 로타리 베인 펌프( Rotary Vane Pump )일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본 원리는 그림과 같다.

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.11.05

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  진공펌프(Vacuum Pump)

  종류 무 기 재 료 공 정 1 : 진 공 펌 프 – 19 / 27진공 PUMP 의 종류 (5) 터보 펌프 그림 설명 : 회전하는 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가는 모습 원리 : ... 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어 진다 무 기 재 료 공 정 1 : 진 공 펌 프 – 20 / 27진공 PUMP 의 종류 (6) 오일 확산 펌프 무 기 재 료 공 ... , 피스톤 펌프 , 루츠 펌프 , 터보 펌프 , 오일확산 펌프 등 진공기술은 반도체 , 신소재 개발 , 진공건조식품 , 표면분석등 여러산업에 걸쳐 이용 무 기 재 료 공 정 1 :

  리포트 | 29페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.06.22

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  진공의 기초와 증착이론

  종류positive displacement 펌프 로터리 펌프(rotary vane pump) 루츠 펌프(Roots pump) 오일확산 펌프(Oil diffusion pump) 터보 ... 분자 펌프(turbo-molecular pump) entrapment 펌프 이온펌프(Ion pump) 냉온 펌프(Cryogenic pump) Getter pump Stream ejecter ... 원료가 기체 분자가 되어, 시료에 충돌,부착 막이 형성된 다.- 진공증착 박막방법의 장점장치전체의 구성이 비교적 간단. 매우 많은 물질에 쉽게 적용.

  리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.10

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  진공펌프의 종류와 내용

  터보 분자 펌프는 10 Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되 산소, 질소들의 분자들과 결합하여 titanium hydride, oxide ... , 흡착 펌프, NEG 펌프10-7~less초고진공 (ultra high)오일 확산펌프, 터보 분자 펌프, 흡착펌프, 저온 냉각 펌프, 승화펌프, 게터 이온 펌프, 스퍼터 이온 펌프10 ... References진공펌프의 정의 및 분류진공펌프란 진공조 내의 압력을 대기압 이하의 압력(진공)으로 떨어뜨리기 위해 기체를 흡입하여 외부로 배출시키는 기구입니다.터보 분자 펌프,TSP

  리포트 | 19페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.06.07

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  기초진공의 이해와 각종펌프

  고진공 펌프는 어떻게 사용 되어지는지 성분은 무엇인지 등에 대한 것이다 고 진공 펌프의 종류에는 오일확산 펌프 , 터보 분자펌프 , 크라이오 펌프 등이 있다 .오일 확산 펌프의 구조와 ... Stator Rotor터보 펌프 의 외형도 10/12/2007 DONGGUK.UNI. 33 터보 펌프는 진동의 거의 없고 트랩 사용없이 5X10 까지 가능하다 .10/12/2007 ... 15러핑 펌프의 종류와 원리 10/12/2007 DONG. 21셥션 펌프 (sorption pump) 10/12/2007 DONGGUK.UNI. 22 이 펌프는 앞에 서 설명한 펌프와는

  리포트 | 57페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.10.12

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  스퍼터링 장치에서의 게이지

  어려운 진공도를 측정하는데 사용. 4.확산펌프, 터보 분자펌프, 이온펌프 등을 사용하는 장치에는 대부분 사용. 5.전리 진공계는 전리를 일으키기 위한 전자를 공급하는 방법에 따라 ... 기체분자와 충돌하면 전리를 일으켜 양이온이 생성. 3. 전리되는 양이온의 수는 충돌하는 기체분자 수와 방출되는 전자의 수에 비례. 4. ... 열 음극 전리 진공계 사용 시 주의점동일 모델 이어도 기기마다의 감도 차 그리드와 수집기에 흡착된 기체분자의 Degas 과정.

  리포트 | 21페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.11.12

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  진공펌프실험

  이 펌프의 동작 영역은 루츠 펌프와 중복되나 구조면에서는 터보분자 펌프와 유사한 펌프이다.◎ 진공의 응용 분야①진공배기 - 전구 형광등, 브라운관, 그 외 일반 관구 류의 배기용에 ... 보조 펌프는 보통 로터리 펌프(Rotary vane pump)가 사용된다. ... 피스톤 회전펌프(Rotary Piston Nechical pump) - 펌프내부에 한쪽으로 치우친 캠이 회전하여 유입된 공기를 외부로 밀어낸다.

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.15

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  (PPT)진공펌프

  그러나 배기부가 대기압인 경우 배기 능력을 상실하므로, 로타리 베인 펌프 등 다른 보조펌프와 연결하여 사용되고 있음) 최대 진공도 : 10-4 torr터보 분자 펌프- 원리 : 일정한 ... -최대진공도 : ~10-10torrCryogenic pump (저온 펌프)- 원리 : Cryogenic 펌프는 '저온(cryo-)'을 이용한 것으로, 차가운 표면에 기체 분자들이 응축 ... 냉매로는 액체질소나 압축된 헬륨을 이용한다.- sorption pump(흡착펌프) - cryogenic pump(극저온펌프)현미경에서의 진공SEM 이란 10-3Pa이상의 진공 중에

  리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.07.10

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  [금속공학]진공펌프

  이 형상을 이용 하는 것이 터보분자펌프( turbo molecular pump) 이며 분자류 영역에서 작동하는 기계적 펌프이다. ... 펌프의 용량은 오일확산펌프의 흡입구의 압력과 배출구의 압력, 그리고 오일 확산 펌프의 용량에 의해 결정된다.터보 분자 펌프분자가 움직이는 고체 면에 부디친 후 재 방출할 때 온도에 ... 그러나 로타의 밀봉 작용이 베인의 경우보다 좋으므로, 수분이나 먼지등에 의한 진공도 저하가 적어 흡기 상태가 악조건인 경우에도 우수한 성능을 발휘 합니다.터보 분자 펌프이 펌프는 공기

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.04.30

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  건식식각

  , 터보분자 펌프 원판형 석영창 상부 안테나 ( 고주파 전원 공급 )이방성 식각 충격하는 이온의 방향을 정확하게 기판에 수직이 되도록 하면 수직 ( 세로 ) 방향만 에칭이 되어 패턴을 ... 충돌하여 식각을 한다 .ICP- RIE 시스템 개략도 고주파 발생부 (radio frequency power generator) 매칭 네트워크 챔버 가스 튜브 , 유량 조절기 로터리 펌프

  리포트 | 25페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.06.13

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  드라이에칭

  , 터보분자 펌프 원판형 석영창 상부 안테나 ( 고주파 전원 공급 )이방성 식각 충격하는 이온의 방향을 정확하게 기판에 수직이 되도록 하면 수직 ( 세로 ) 방향만 에칭이 되어 패턴을 ... 충돌하여 식각을 한다 .ICP- RIE 시스템 개략도 고주파 발생부 (radio frequency power generator) 매칭 네트워크 챔버 가스 튜브 , 유량 조절기 로터리 펌프

  리포트 | 25페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.06.02

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