"스퍼터링" 검색결과 101-120 / 781건

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  [공학]진공과학, 플라즈마, CVD, 스퍼터링, 진공증착

  1. 진공 [眞空, vacuum] 이란??간단히 말해서 진공은 물질이 전혀 존재하지 않는 공간이라고 할 수 있다.실제로는 완전한 진공을 만들기가 매우 어렵기 때문에 보통 1/1000(10-3)㎜Hg 정도 이하의 저압을 진공이라 한다. 진공으로 만든 용기 내에 남아 있는..

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.04.17 | 수정일 2022.03.09

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  증착법, 스퍼터링, 박막 공정 (THIN FILM PROCESS)의 기초

  증착Ar+AlAr+Ar+Ar+AlAlAl타겟의 DC bias에 의해 plasma가 발생물리 기상 증착법(Sputtering)물리 기상 증착법(PVD)단점고전압 (가격 증가) 낮은 스퍼터링률

  리포트 | 41페이지 | 5,000원 | 등록일 2007.10.17 | 수정일 2014.08.27

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  [박막 공정] 박막공정(스퍼터링, CVD)

  속도2 Magnet 반응 최소화2 이온에너지 및 dose량 조절에 의한 스퍼터링 속도 조절 용이▶ 피막 형성1 모재표면으로 스퍼터링 된 원자의 이동 및 흡착2 흡착원자들의 표면이동 ... 효율에 영항을 미치는 인자 : 이온에너지, 이온 조사 각도, 이온종류▶ 스퍼터링 공정 장치 개발1 스퍼터링 속도 향상2 타겟 면적 증가3 모재의 플라즈마 가열 저하4 가스 압력 저하5 ... ▶ 스퍼터링의 정의활성화된 가스이온으로 고체표면을 충격하여 에너지 이전에 의해 표면 원자를 물리적으로 축축하여 다른 고체표면에 도금하는 공정.▶ sputtering의 발생glow discharge에

  시험자료 | 5페이지 | 6,900원 | 등록일 2004.06.15 | 수정일 2014.06.30

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  [반도체공학] 반도체 공정 및 스퍼터링

  반도체공정 Sputtering 결과반도체 제조 과정 11. 단결정성장 고순도로 정제된 실리콘 용융액에 시드(Seed) 결정을 접촉, 회전시키면서 단결정규소봉(Ingot)을 성장시킴. 실리콘 단결정의 제조 - 초크랄스키법(Pulling Method=인상법), 플롯존법(F..

  리포트 | 22페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.05

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  [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 예비보고서

  글로 방전 스퍼터링은 스퍼터링된 원자와 기체의 충돌이 많아 증착률이 낮고 방전 전압이 수 kV로 높아야 하며 때로는 방전이 불안정하다. ... 스퍼터링열 증발법에서는 물질을 열로 녹여 증기 상태의 입자가 진공 중에 날아가 기판에 응집되어 박막이 형성되나, 스퍼터링에서는 글로 방전에 의해 생성한 이온빔을 과녁에 충돌시킬 때 ... 따라서 양극 면적을 음극 면적보다 크게 하면 음으로 대전된의 크기가보다 커지므로 이온이 음극의 과녁과 충돌하게 된다.2.2 마그네트론 스퍼터링글로 방전 스퍼터링 챔버의 Ar 압력은

  리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.03

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  [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 결과보고서

  실험 요약본 실험은 아래의 스퍼터링 장비를 사용하여그림 스퍼터링 시스템의 구조실리콘 기판에 구리 박막의 증착시키는 실험이다. ... 실험 결과2.1 DC 스퍼터링먼저 DC 스퍼터링에서는그림 Basic DC sputtering system실리콘 기판을 적당한 직사각형 크기로 잘라 박막을 입혔고, 여기서 실험 조건은 ... , 글로 방전을 발생시키는 방법에 따라 DC와 RF 스퍼터링으로 실리콘 기판에 구리 박막을 증착하였다.2.

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.03

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  [공학기술]박막증착 기술보고서<스퍼터링&CVD>

  이론적으로 배웠던 스퍼터링의 종류에 DC planar diode 스퍼터링, Triode 스퍼터링, Magnetron 스퍼터링, RF 스퍼터링, Ion beam 스퍼터링 기술 등이 있다 ... 이와 같은 스퍼터링 공정 중 대표적인 스퍼터링 기술은 Magnetron 스퍼터링법 이라고 할 수 있는데 Sputtering Target 뒷면에 자장을 인가하여 Plasma 내의 전자가 ... Sputtering스퍼터링(Sputtering)은 PVD에 해당하는 증착법 중의 하나이다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.06.14

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  [공학기술]박막 공정,PVD,증착,진공증착,스퍼터링 보고서

  스퍼터링- 음극스퍼터링(cathode sputtering)24p4.4.1. 직류스퍼터링(DC sputtering)34p4.4.2. ... 고주파 스퍼터링(RF sputtering)37p4.4.3. 반응성 스퍼터링(reactive sputtering)38p4.4.4. ... 물리 기상 증착법: Sputtering 증착법(반응성 스퍼터링(reactive sputtering) )스퍼터링과 함께 반응성 가스(N2, NH3, CH4, C2H2 등)를 도입하게

  리포트 | 70페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.08.16

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  [박막] RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 ZnO박막에 관한 연구

  본 장비는 타게트의 효율과 제조한 박막의 평활도를 높이기 위하여 스퍼터링시 타게트 뒷면에 부착한 자석이 회전하도록 고안되었다. ... 또한 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Al을 이용하여 전극폭 8 ㎛의 IDT(Inter-digital transducer)를 기판과 ZnO 박막 사이에 형성하여 SAW 필터를 ... 이로 미루어 볼 때, 본 실험에서 알곤의 산란에 의한 효과가 지배적으로 나타난 것은 기판과 전극간의 거리가 4cm로 크기 때문에 스퍼터링된 입자들이 기판에 도달하기 전에 충돌할 확률이

  리포트 | 17페이지 | 3,500원 | 등록일 2004.12.05

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  [반도체] rf 마그네틱 스퍼터링으로 증착된 Zno의 온도에 따른 변형거동

  RF Magnetic Sputterring에 의해 증착된 ZnO-AL박막의 증착온도 변화에 따른 변형거동 관찰1. 결과 및 고찰.증착온도의 변화에 따른 결정구조의 변화각기 다른 성장온도에서 증착된 박막의 SEM 결과는 상온증착 시편에서는 표면에 특별한 규칙성이 보이질 ..

  리포트 | 5페이지 | 2,000원 | 등록일 2005.01.13

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  CVD ( chemical vapor deposition ) 법,섬들의 성장과 합체,에피탁시얼막 ,스퍼터링

  바이어스 전압을 걸어주고 스퍼터링 게터 스퍼터링 : 활성기체인 Ar+가 막내에 들어오지 못하게 하는 문 제를 해결하기 위해 게터링하는 방법 사용 반응성 스퍼터링 : 음극물질과 O2 ... 스퍼터링(1) 음극스퍼터링 비대칭 교류전압 : 비대칭 교류전압을 전원으로 적용된 것 바이어스 스퍼터링 시스템 : 도체 기판위에 시편을 놓고 양극과는 절 연시키고,그 시편에 약-100V의

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.09

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  재료공학실험(세라믹) 최종 보고서

  실험장비3.1 스퍼터링-시편: SiO2, Si, 유리-다이아몬드커터: 시편 절단에 이용-용액-아세톤, 에탄올, 이소프로필알코올: 절단 시편 세척에 이용-초음파세척기그림 6 스퍼터링 ... 따라서 원활한 스퍼터링을 위해선 높은 파워(전원)과 적당한 챔버 내 가스 압력이 필요하다. ... 파워를 계속 증가시키면 양이온이 타겟 전체에 일정하게 충돌하여 스퍼터링이 잘 일어나게 된다.

  리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2022.09.08

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  반도체 공정 term project

  이러한 현상을 물리학에서는 “sputtering”이라고 말한다.1)DC 스퍼터링1. ... 사용 및 응용분야스퍼터링 방법의 응용분야 및 생산제품분 야생 산 제 품기 계 용공구용 고경도 코팅, 고체 윤활제, 비행기 엔진부품,착륙기어, 자동차 엔진 부품전 자 용반도체, 저항재료

  리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2023.06.22

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  Evaporator_Sputter 레포트

  DC 스퍼터링에서는 타켓이 산화물이나 절연체일 경우에는 스퍼터링이 되지 않으나, RF 스퍼터링에서는 해결이 가능하고 낮은 Ar 압력에서도 플라즈마가 유지될 수 있다. ... 그 외에도 비금속, 절연체, 산화물, 유전체 등의 스퍼터링이 가능하며 주로 13.56MHz의 고주파 전원을 사용한다.Magenetron 스퍼터링은 타겟(Cathode)의 뒷면에 영구자석이나 ... Magnetron Sputtering 등이 있다.먼저 DC Sputtering은 직류 전원을 이용한 스퍼터링 방법이다.

  리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08

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  [재료공학실험]투명전극재료의 합성 및 물성 평가

  스퍼터링 방법에는 DC 스퍼터링과 RF 스퍼터링 두 종류가 있는데, 우리가 사용한 방법은 주로 금속 타겟에 쓰는 DC 스퍼터링을 인듐틴을 타겟으로 사용하여 박막코팅을 하였다. ... 스퍼터링(Sputtering)투명전도체 박막을 제작하는 가장 일반적인 방법으로, 진공중에서 방전에 의해 플라즈마를 발생시키고, 이 플라즈마 중의 양이온이 부전극의 타켓 표면에 가속 ... 스퍼터링법에 의한 박막 제조 기술의 특징1) 금속, 합금, 절연물 등 폭넓은 재료의 박막제작 가능2) 적절한 조건의 설정에 의해 다 원계의 복잡한 조성의 Target을 사용해도 거의

  리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.02.20 | 수정일 2022.02.22

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  CMOS 제조 공정 실험 레포트(예비,결과)

  스퍼터링 증착은 증착 속도는 낮지만 견고한 박막을 형성시킬 수 있고, 접착력이 우수하다. 게다가 모든 물질에 증착이 가능하기 때문에 스퍼터링을 많이 이용한다. ... 금속화의 방법에도 필라멘트 증착, 전자빔(e-beam), 스퍼터링 증착이 있다.

  리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08

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  한양대 신소재공학부 대학원 학업계획서

  대학원 OOO 교수님의 OOOOO 연구실에서 유연한 비대칭 슈퍼커패시터를 위한 3차원 자립형 전도성 MnCO3@Graphene/CNT 네트워크 개발 연구, 고전력 임펄스 마그네트론 스퍼터링에

  자기소개서 | 1페이지 | 3,800원 | 등록일 2022.09.30

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  ReRAM 실험 예비레포트

  그들은 유연한 poly[ethylene naphthalate] (PEN) 기판에 스퍼터링 방법으로 IGZO 반도체 층을 형 성하였다.

  리포트 | 12페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08

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  유기소재실험2_고분자_박막_제조

  스퍼터링에 튀어나간 원자를 기판위에 퇴적시켜 박막을 만들며 이를 스퍼터링 법 또는 물리적 증착 방법이라고 한다. ... )법 : 원자 또는 분자 레벨의 입자가 큰 에너지를 갖고 고체와 충돌할 때에 고체를 이루는 원자가 외부로 튀어나가는 현상을 스퍼터링 또는 스퍼터라고 부른다. ... .- 박막 제조 방법 (3가지 이상)(1) 진공증착법 : 진공 중에서 물질을 가열하여 증발시킴으로써 그 증기를 기판 위에 응축시켜서 박막을 제작하는 방법이다.(2) 스퍼터링(Sputtering

  리포트 | 2페이지 | 2,000원 | 등록일 2023.08.31

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  일반화학및실험 간단구리도금 실험 레포트

  음극 스퍼터링 : 진공 내에서 양이온의 입자로 음극물질을 때림으로써 음극물질이 튕겨나온 것이 진공내의 피도금물체에 피막을 만든다.

  리포트 | 4페이지 | 2,500원 | 등록일 2020.12.18 | 수정일 2024.03.11

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