"MOCVD Co" 검색결과 1-20 / 27건

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  Co2(CO)8 (Dicobalt Octacarbonyl) 전구체를 이용한 MOCVD Co 박막의 균일한 증착 특성 및 높은 순도에 관한 연구

  한국재료학회 이정길, 이재갑

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  [신소재공학실험]박막 실험

  Sputter1) sputter물리 기상증착법은 원하는 박막 물질의 기판이나 덩어리에 에너지를 가하 여 운동에너지를 가지는 해당 물질이 물리적으로 분리되어 다른 기판에으로서 Fe, Ni, Co ... 이용해 반도체 기판상에 금속화합물을 퇴적, 부탁 시키는 화합물반도체의 기상성장법이다.Fig.5 MOCVD의 공정도3) sputtering : 고 에너지의 입자를 원하는 박막과 동질인 ... 석영반응관의 한쪽 부분에서 반응 가스가 공급되고 반대편에는 반응가스의 배기구가 설치되어 있다.㉢ 금속 유기물 화학 기상증착MOCVD는 화학적 기상 성장법 중의 한가지로 유기금속의 열분해반응을

  리포트 | 9페이지 | 3,600원 | 등록일 2022.08.28

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  Design Project for LED fabrication process- 조명 White LED 제작 공정

  Etching 특징 n 형 전극을 형성시키기 위한 단계 dry 에칭 방법 사용 절연체 (SiO 2 ) 를 에칭하기 위한 장치 CF 4 + SiO 2 (S) → SiF 4 (g) + CO ... Process MOCVD : Metal Organic Chemical Deposition MO source : 금속 유기 화합물 이용 가열된 기판 표면 + 금속 유기 화합물 증기 ... ⇒ 원하는 박막 성장EPI 성장기술 TF-MOCVD Equipment N 2 : 10 L/min H 2 : 10 L/minEPI 성장기술 LAYER Main flow Subflow

  리포트 | 39페이지 | 3,000원 | 등록일 2014.03.26

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  아주대 기계설계 분야별 실험3

  이 경우 쓰이는 Laser의 종류로는CO _{2}레이저, YAG레이저, diode 레이저가 많이 쓰인다. ... 에피 웨이퍼 제조: 기초 소재인 기판위에 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, 유기 금속 화학 증착법) 장비를 이용하여 화합물 반도체를 ... 설명하면, 청색을 내는 반도체 재료로는 GaN가 있으며, Sapphire (Al2O3)나 SiC 기판 상에 N형 반도체(N-GaN)와 활성층(InGaN), P형 반도체(P-GaN)가 MOCVD로

  리포트 | 16페이지 | 3,000원 | 등록일 2014.07.22

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  금속 박막증착

  shield 사용으로 박막두께 균일ㆍ자기장이 target 표면에 수직으로 입사및 방출되어야 함ㆍ자기장 근처에서의 선택적인 Sputter로target의 소모성이 크다ㆍ자성 재료의 사용 경우(Co ... 사용한다.실험장비는 DC 스퍼터, RF 스퍼터, 마그네트론 스퍼터, E-beam evaporator 등이 있다.화학 기상 증착(CVD) 에서도 일부가 금속 박막 증착에 사용하는데 실험장비는 MOCVD ... (금속 유기물 화학 기상증착): 유기금속의 열분해반응을 이용해 반도체 기판상에 금속화합물을 퇴적, 부착시키는 화합물반도체의 기상성장법 이다.MOCVD는 에피택시 성장법의 새로운 한

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.08.24 | 수정일 2015.02.12

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  [신소재 설계입문] 생체 세라믹 재료를 이용한 인공뼈의 설계 보고서

  또한 우리의 Coating 공정 과정은 고온에서 일어나게 되는데 이때 카본을 사용할 경우 Coating과정 중에 CO가 발생할 가능성이 있다. ... 또한, MOCVD공정을 사용하여 수산화아파타이트를 다공질 섬유단상조직 위에 Coating함으로서 생체친화성을 극대화 시켰다. ... 이러한 CVD에 해당하는 증착법으로는 열CVD, 플라즈마 CVD(Plasma CVD), 광 CVD, MOCVD(Metal Organic CVD), 레이저 CVD(Laser CVD)

  리포트 | 36페이지 | 2,500원 | 등록일 2011.06.23

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  적색 LED Review

  Multichip 및 ROY 계열 약 ~20% 유지..PAGE:3가격19*************0현재 LCD BLU용 청색과 적색Chip의 가격은 비슷함.(2000년대 초반 청/녹색용 MOCVD ... , 수량적인 측면에서는 세계시장의 80%를 석권하고 있다.대면적 Chip에 대해서도 미국의 Lumiled사를 제외 하고는 가장 우수한 특성의 LED를 출시하고 있다.Lumiled CO

  리포트 | 12페이지 | 4,000원 | 등록일 2010.07.14

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  LED산업분석 및 향후전망

  예를 들어 Blue LED의 경우에는 사파이어나 SiC 기판 위에 N형 반도체와 활성층(InGaN), P형 반도체를 MOCVD장비를 이용하여 증착시킨다. ... LED의 장단점(1)장점- 에너지 절약, 長수명, 이산화탄소(CO2) 배출량 감소(2)단점- 삼파장 인버터 스탠드와 엔프렌 LED 스탠드의 비교Ⅳ. ... 환경 규제에 따른 국제 교역 감소로 경제가 침체되는 동시에 개발도상국의 저가 제품 공급 축소와 기후변화 대응 비용의 전가로 물가가 상승할 것이기 때문이다.국가별로 해외 이산화탄소(CO2

  리포트 | 14페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.26 | 수정일 2015.12.17

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  나노 재료의 주요 합성방법(졸겔법,침전법,전기방전법,레이저증착법, 스파터링법, 기상합성법,화학기상 성장법)

  C2H4, CO, CH4, C2H2, benzene 및 xylene 등의 탄화수소물질과 전이금속 촉매를 함유한 유기금속화합물로서 Fe(CO)5 혹은 Ferrocene등을 반응로에 동시에 ... 특히 발전된 무기합성화학 지식을 토대로 하여 다양한 금속-유기계 전구체를 제조할 수 있는 가능성 때문에 MOCVD가 최근의 연구 대상으로서 크게 주목받고 있다.MOCVD의 장점과 단점 ... 일반적으로 반응기체로서 C2H2, CH4, C2H4, C2H6, CO 가스를 사용해서 탄소나노튜브를 합성한다.

  리포트 | 21페이지 | 5,000원 | 등록일 2007.10.17

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  태양전지 report

  지속가능한 미래에너지가 되려면 CO2나 기타 환경에 피해를 줄 수 있는 물질이 나오면 안된다는 것에 대해 이상적인 자원이다. ... 이러한 손실을 최소화하기 위해 2세대 태양전지는 광 흡수 대역이 서로 다른 단일 접합 태양전지를 적층함으로써 광 흡수 대역을 넓힐 수 있다.2세대 태양전지는 MOCVD와 MBE 같은

  리포트 | 10페이지 | 2,500원 | 등록일 2013.03.08

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  연소 화학 기상 증착법(Combustion Chemical Vapor Deposition)

  CVD (5) 반응 기체의 종류에 의한 분류 - CONVENTIONAL CVD : SiH4등 NONORGANIC METALLIC SOURCE - MOCVD (METAL ORGANIC ... TaN,ZrN,CrN,BN, SiN4,InN탄화물TiC,ZrC,HfC,NbC,TaC,SiC합금AlCr,ArNi,NiCr,DiamondCVDThermal CVDThermal CVD MOCVD ... processGood step coverage단점Bad step coverageHigh impurity Using toxic gas Hardware complexity적용공정Ti, TiN, Al, Co

  리포트 | 18페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.17

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  CVD Chemical Vapor Deposition

  CVDMoCl5, H2 (SiH4*) MoF6, H2(or Si)열 CVDMo (MoSix*)WF6Plasma CVDWF6, H2(or Si) WCl6, H2 (SiH4*) W(CO ... B2H6* 감압 BCl3)열 CVDPSG (BPSG*)SiH4, N2O, SiH4, O2광 CVDSiH4, N2OPlasma CVDSiH4, O2, SiH4, N2O, SiH4, CO2 ... CVDW (WSix*)Al(CH3)3 AlCl3Plasma CVDAl(CH3)3열 CVDAl도 체 막(CH3)3Ga, AsH3 (CH3)3Al, AsH3 (C2H5)3In, PH3MOCVD화합물반도체

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.20

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  [공학]【A+】반도체공정기술[단위공정]

  SiO2 + C → Si + CO2(Silica)1,250℃2. Si + 3HCl → SiHCl3 + H2 (+SiCl4 ＋ other products)1,100℃3. ... 형태로부터 성장· Vaphor Phase Epitaxy 법 (VPE 법)· Chemical Vaphor Deposition 법 (CVD 법)· Metal-Organic CVD법 (MOCVD

  리포트 | 28페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.07.15

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  산화아연의 전망

  또한 MOCVD, MBE등의 에피성장 기술이 발달하면서 이를 ZnO 박막 성장에 이용하여 양질의 ZnO 박막 성장이 가능해짐에 따라23,24) ZnO의 광소자로서의 응용 가능성은 더욱 ... GaMnAs을 이용한 spin-LED.Fig. 5. p-형 반도체의 예상 Cruie 온도.ZnO DMS에 관한 연구로서 일본 Osaka 대학에서 전이금속 원소들인 Fe, Co, Ni ... 수 있다는 가능성을 보여주었고, Al 등의 도핑에 의해 다른 DMSs 보다 높은 캐리어 농도(1019cm-3)를 가진다는 것을 발견하였다.최근에 Curie 온도가 350K 이사인 Co를

  리포트 | 28페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.06.29

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  LED란

  light로 친환경적인 광원이다.저 전력 형 조명이므로 발전소 전체 에너지의 20%를 조명기구가 소비하고 있는 현재 LED 사용 시 전력 소비가 줄어들어 화석 연료 사용이 감소되어 CO ... -52-41.8-3.19.7-19.4*VPE:기상성장법, LPE:액상성장법, MOCVD:유기금속기상성장법LED의 종류와 특징1 GaP:ZnO 적색 LEDGaP 적색 LED는 1970년경부터 ... 0.30.150.140.36-0.720.7-1.050.78Ga0.65Al0.35As(DH)(DH)GaAsGaAlAsLPELPE빨강빨강6606602-45-90.84-1.602.0-3.6GaN사파이어MOCVD파랑초록4705203

  리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.05.30

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  건식도금

  MOCVD(또는 OM CVD), HVD등 원료명을 붙인 CVD법의 명명도 이러한 사정을 반영하고 있다.3 온도(기상, 기재, 로벽, 노즐)기상온도, 기재온도는 성막속도나 입자생성속도에 ... C2H5)3In, PH3도 체 막Al열 CVDAl(CH3)3Plasma CVDAl(CH3)3AlCl3W(WSix*)열 CVDWF6, H2(or Si)WCl6, H2(SiH4*)W(CO ... H2SiH2Cl2, H2SiHCl3, H2SiCl4, H2다결정 Si열 CVDSiH4, H2비정질 SiPlasma CVDSiH4SiH4, CH4화합물반도체(GaAs, GaAlAs,InP)MOCVD

  리포트 | 21페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.12.13

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  Bioelectrochemistry

  지구온난화의 원인인 이산화탄소(CO2)의 변환, 공기 중 대량 존재하는 다른 금속을 활용한 전지 및 바이오연료전지의 구현을 위한 연구를 진행 중이다.3. ... 과정을 지칭하며 이러한 방법으로는 thermal evaporation(열증착), e-beam evaporation(e-beam 증착), sputtering, CVD(화학증착), MOCVD

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.21

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  LG이노텍의 대차대조표, 손익계산서 분석

  영문으로는 LG Innotek Co., Ltd. 로 표기합니다 . ... 현재 LG 이노텍이 전라남도 광주시 · 경기도 파주시에 설치하고 있는 유기금속화학증착장비 (MOCVD) 와 칩공정 장비들도 6 인치 에피웨이퍼 처리에 특화된 것으로 알려졌다 .

  리포트 | 32페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.06.19

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  유비쿼터스용 차세대 메모리 기술 (MRAM, FeRAM, PRAM)

  강유전체 재료는 (111)면으로 배향된 PZT 막을 MOCVD법에 의해 증착한 막을 사용하고 있다. ... Magneto Resistance: TMR) 소자를 이용한 것이다.TMR 소자는 그림 1과 같이 2개의 강자성층이 비자성층을 끼운 3층 구조로 강자성층에는 변이 금속성원소(Fe, Co

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.10.15

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  [태양전지]태양전지

  Sublimation, CSS), 진 공증착법, 전착법, screen printing, spray pyrolysis, metallorganic chemical vapor deposition(MOCVD ... CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2C태양으로부터의 ... 선물, 태양전지CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO2CO목

  리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.07.19

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