펄스드 레이저 증착기술중 레이저 에블리이션법이 주로 이용된다.②Electron Beam deposition에너지가 10keV 정도인 전자빔을 타겟에 쬐어 타겟만을 직접 가열하여 증착 ... 위치에 따라 달라진다, 점(point) 증발원(근사적 의미의)에 평면기판일 경우 피막두께는 거리의 자승에 따라 감소한다.그림과 같은 상teringion platingElectronBeam ... 특성에 나쁜 영향을 미치는 경우가 있고, 높은 진공에서의 성막 때문에 증착 입자의 직진성이 강하고 단차부에서의 막의 피복성이 나쁘며, 접의 제어가 어려운 단점이 있다.④Cluster Beam
