sourceEvaporation source의 대표적인 것은 저항가열식 source와 전자빔 source이다. ... 그림 (2) 의 상단부에 있는 것은 기판을 장착시킬 수 있는 Dome이고 왼쪽 하단부에 있는 것은 Ion source이고 오른쪽 하단부에 있는 것은 전자빔이다. ... 증착방식은 증착재료의 용유점이 높을 경우에 주로 사용된다. electron beam 소스인 hot filament에 전류를 공급하여 나오는 전자 빔을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여
