"레이저증착법" 검색결과 121-140 / 555건

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  LPE, VPE, MBE 장비

  Gunther 등의 3온도 증착법이 효시이다. ... 그러나 진공증착법의 막두께 제어성과 표면의 평탄성이 좋다는 이점으로 인하여 단순히 물리적인 입장에서 표면연구를 하기 위한 수단으로서만 분자선을 이용하였다. ... 혹은 표면과의 화학반응 등의 현상에 대해서도 연구가 진행되어 분자선 에피택시라는 결정성장법이 개발되었다.한편 금속 혹은 반도체 시료를 진공 중에서 증발시켜 박막을 형성시키는 진공증착법은

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.04.12

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  기계공학실험 보고서(5. 마이크로 표면측정)

  이동하면서 전류와 자기장을 생성하게 된다.6) 기타 표면개질(surface modification)을 물리적/화학적 방법으로 나누어 간략히 조사하시오.표면개질을 위한 방법에 기상증착법 ... 원료 물질을 cell (effusion cell)에 넣은 다음에 cell의 문을 열고 닫는 것으로 원료물질을 열, 레이저, 전자빔 등을 통해 기체상태로 날려서 보내고 날아간 원료 ... PVD는 증착시키려는 물질을 기체상태로 만들어서 날려보내는 것이므로 진공을 필요로 한다.- Short peening: 쇼트 쇼트피닝 가공이란 금속부품의 표면에 쇼트볼 강구를 고속으로

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.07.16

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  탄소나노튜브 풀러렌

  (a) (b) (c)전기방전법에 의한 탄소나노튜브 (a) 합성된 파티클 (b) 단일벽SEM사진 (c) 다중벽SEM사진② 레이저 증착법 (Laser vaporization)1995년에 ... 미국 라이스대학의 Smalley 그룹은 레이저 증착법에 의해서 탄소나노튜브를 합성하였다. ... 그림 10은 Smalley 그룹에서 사용한 레이저 증착장치이다. 1200 ℃의 오븐 안에 있는 graphite target에 레이저를 조사하여 graphite를 기화시킨다.

  리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.05.25

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  PVD (Physical Vapor Deposition), 물리 증착법

  기술로서 증발의 과정이 열교환 과정이다.①Plused Laser Deposition재료를 증발시키는 수단으로서 높은 파워 밀도의 펄스 레이저를 이용하는 박막 형성법을 일반적으로 펄스드 ... 펄스드 레이저 증착기술중 레이저 에블리이션법이 주로 이용된다.②Electron Beam deposition에너지가 10keV 정도인 전자빔을 타겟에 쬐어 타겟만을 직접 가열하여 증착 ... 특히 자외역의 레이저를 사용하는 경우를 레이저 에블레이션법 이라 하여 적외역의 레이저를 사용하는 경우와는 구별한다.

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.07.05

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  박막 성장 원리 및 성장 장비 설명 (CVD, MOCVD, APCVD, LPCVD, PCVD, PECVD, ALD)

  (Photo Chemical Vapor Deposition ) Laser 또는 자외선과 같은 광에너지를 반응 기체의 분해 및 박막을 증착에 사용 하는 화 학 기상 증착법 Ⅰ. ... Conclusion Photo CVD 의 원리 · 직접 여기 법 한 개의 분자가 상호작용 없이 Photon 으로 부터 직접 에너지를 받음 · 간접 여기 법 원자를 먼저 광 여기 시킨 ... 기상증착 (APCVD) Ⅰ.

  리포트 | 58페이지 | 10,000원 | 등록일 2013.04.22 | 수정일 2023.04.24

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  cigs의 개요 원리 구성및특성 박막성장기술 장단점 고효울화방안

  Glass Mo Cu( In,Ga )Se2 CIGS 박막증착 ( 진공증발법 )Glass Mo Cu( In,Ga )Se2 CIGS 박막증착 ( 진공증발법 )박막형성기술 ( 진공증발법 ... 박막증착 ( 진공증발법 )2 단계 Glass Mo Cu( In,Ga )Se2 CIGS 박막증착 ( 진공증발법 )Glass Mo Cu( In,Ga )Se2 3 단계 Ga In Se ... Engagement System / 다중통합 레이저 교전체계 ) 장비 CIGS 어플리케이션CIGS 박막 태양전지 국내외 흐름CIGS 박막 태양전지 국내외 흐름CIGS 박막 태양전지

  리포트 | 62페이지 | 4,000원 | 등록일 2012.05.26

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  다기능 세라믹 박막의 내장화 기술에 대한 연구

  sol-gel법을 이용한 박막 제조공정 확립2) Enhanced MOCVD 법을 이용한 저온 박막 증착 공정 개발?기판온도 350℃ 이하에서 최적 증착 조건 확립? ... 향상된 activation 에너지에 의해 저온 박막 증착에서 결정화 특성 향상 도모[그림] Enhanced MOCVD3) UV-assisted RTP 법에 의한 저온 열처리 법 개발 ... UV-sensitive sol로 제작한 gel 박막의 저온 열분해 및 결정화에 도모[그림] UV-assisted RTP4) Excimer Laser Annealing법에 의한 저온

  리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.10.27

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  박막 태양광기술에 대해서 전문적인 자료입니다

  수반한 화합물 증착이 가능 넓은 면적의 박막 제작유기금속 기상성장 법(MOCVD) → 화학 기상 증착(CVD) 방법 중의 한가지로, 유기 금속 증기를 열 분해 반응시켜 기판상에 금속 ... 제작비용 저렴 양질의 박막제장 용이치 않음 대면적화가 어려움 Sputtering(스퍼터링 법) 장점 : 금속 또는 절연체를 증착할 수 있음 Ar과 다른 혼합가스를 사용하여 반응을 ... (유리, 금속, 플라스틱)단-중기중-장기CIGS 흡수 층 제작→ co-evaporation, sputtering, 유기금속 기상성장법(MOCVD) co-evaporation(동시 증착법

  리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2012.08.26

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  세라믹8조탄소나노튜브

  구조탄소나노튜브 CTN 의 실물모습 흑 연 다이아몬드탄소나노튜브의 합성 기술 전기방전법 (arc-discharge) 레이저 증착법 (Laser vaporization) 열 화학기상증착법 ... 증착법 (Laser vaporization) 전기방전식하고 비슷하지만 탄소봉 에 레이저를 주입시켜 기화된 탄소원 자를 냉각 수집기로 모으는 방법으로 CNT 를 얻음 . ... 단점 - 레이저 유지보수 . - 극소량의 생산물 . - 합성속도가 느림 . * 레이저증착법으로 합성한 CNT 의 SEM 사진 ( 좌 ) 과 TEM( 우 ) 사진 주사전자현미경 ( 시료의

  리포트 | 30페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.06.08

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  다결정 실리콘 박막 트랜지스터

  >600 oC) 유리기판의 자유로운 사용에 제한을 받고 결정화 시간이 많이(>20 hrs) 걸린다는 단점이 있지만, 비교적 큰 결정립과 결정립 크기의 균일성을 얻을 수 있고, 직접증착법에 ... 위해서는 극복해야 할 기술과제가 많다.현재 널리 연구되고 있는 LTPS-TFT의 활성층 형성 기술로는 SiH4, Si2H6등의 원료가스를 진공중에서 분해하여 기판 위에 성장시키는 직접 증착법 ... (excimer laser)를 이용한 저온 공정-excimer laser annealing (ELA) 또는 excimer laser crystallization (ELC) 이라 불리는-의

  리포트 | 39페이지 | 1,500원 | 등록일 2012.05.28

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  07CVD (2)

  기판 온도 의존성1/기판온도퇴적속도열CVD법에 의한 퇴적속도의 기판 온도 의존성공급률속 영역기체의 반응이 일어나는 영역반응률속 영역박막 증착법의 종류APCVD장점: 자동화가 비교적 ... 공급하여 기판과의 화학적 반응을 유도함으로써 반도체 기판 위에 박막층을 형성하는 공정 외부와 차단된 반응실 안에 기판를 넣고 Gas를 공급하여 열, 플라즈마, 빛(UV or LASER ... CVD (Chemical Vapor Deposition)목 차CVD의 정의 CVD의 원리 CVD의 장·단점 CVD의 반응 CVD의 종류CVD의 정의화학 기상 증착법 기체 상태의 화합물을

  리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18

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  꿈의 신소재

  탄소 나노튜 브 Advanced materials of Dream 탄소 나노튜브 합성기술 전기방전법 (arc-discharge) 레이저 증착법 (laser vaporization) ... 플라즈마 화학기상증착법 (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 열화학 기상증착법 (Thermal Chemical Vapor Deposition ... 그래핀 Advanced materials of Dream 그래핀 제조방법 고온에서 탄소를 잘 흡착하는 전이금속을 촉매층으로 이용 화학 증기 증착법탄소나노튜브 그래핀 1.

  리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.04.30

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  플렉시블 센서 동향

  첫 번째, 결정화(crystallization) 방법은 저온에서 플라스틱 기판에 비정질 실리콘을 증착한 후 레이저(laser)로 비정질 실리콘을 다결정 실리콘으로 결정화하는 방법이다 ... 이런 단점을 극복하려는 노력은 기존 반도체 공정에서 벗어나 새로운 공정법을 요구하게 된다. 플렉시블 센서 및 전자소자를 제작하는 방법은 크게 세 가지로 나눌 수 있다. ... 두 번째는, wet-transfer 방법으로 단결정 소재를 높은 온도에서 합성하거나 증착한 후 솔루션(s같은 격자구조로 연결되어 있기 때문에 일반적으로 발생하는 접촉저항이 작다는 장점과

  리포트 | 21페이지 | 3,000원 | 등록일 2014.05.23 | 수정일 2019.02.07

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  cvd

  (Photo Chemical Vapor Deposition ) Laser 또는 자외선과 같은 광에너지를 반응 기체의 분해 및 박막을 증착에 사용 하는 화 학 기상 증착법 Ⅰ. ... Conclusion Photo CVD 의 원리 · 직접 여기 법 한 개의 분자가 상호작용 없이 Photon 으로 부터 직접 에너지를 받음 · 간접 여기 법 원자를 먼저 광 여기 시킨 ... 기상증착 (APCVD) Ⅰ.

  리포트 | 59페이지 | 5,000원 | 등록일 2012.12.24 | 수정일 2013.11.17

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  27MOCVD공정

  박막의 조성과 증착속도는 반응기 내의 여러 가지 precursor 분압과 박막이 증착되는 곳의 온도와 반응기를 통해서 가스의 흐름방식에 의해 주로 조절된다. ... Precursor로써 MO-Source를 중심으로 Hydrides나 Reactant들을 사용하여 박막을 성장 시키는방법이다 유기금속 화합물(Metal Organic)을 사용하여 Thermal CVD법에 ... gas flowHHHAsGaCH3CH3CH3H2H2H2H2(CH3)3GaMOCVD의 특징 - 장점MOCVD의 특징 - 단점MOCVD의 응용분야MOCVD 장치 및 MOCVD 공정은 레이져다이오드

  리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18

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  MOCVD

  이동된 GaN의 peak점 각도 : (2θ) = 34.48+0.47=34.95, θ=17.175˚1) 이론 빛을 쬐어주고 쬐어준 물질에서 나오는 빛의 주파수 별 분포를 보는 것 레이저로 ... 유기금속화합물 을 원료로 하고 수소 등을 이송기체로 사용 → 기판 위에서 비가역적 열분해 반응이 일어나도록 함으로써 고체 상태의 결정을 성장시킴* MOCVD란* 화학증착 화학식 (CH3 ... for GaN- 온 도 : 1050℃ ┗ 박막의 crack이 발생하지 않도록 1000℃이상의 고온 - 압 력 : 200 torr ┗ 원료가스의 공급량을 높여 균일성이 좋은 박막 증착을

  리포트 | 24페이지 | 2,000원 | 등록일 2014.07.02 | 수정일 2023.03.30

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  [신소재 설계입문] 생체 세라믹 재료를 이용한 인공뼈의 설계 보고서

  (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착법(PLD, Pulsed Laser Deposition) 등이 있다.그림 12. ... 이러한 PVD에 해당하는 증착법으로는 스퍼터링(Sputtering), 전자빔증착법(E-beam evaporation), 열증착법(Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법 ... 이러한 CVD에 해당하는 증착법으로는 열CVD, 플라즈마 CVD(Plasma CVD), 광 CVD, MOCVD(Metal Organic CVD), 레이저 CVD(Laser CVD)

  리포트 | 36페이지 | 2,500원 | 등록일 2011.06.23

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  탄소나노튜브

  탄소나노튜브의 합성법 (2.레이저증착법)레이저 증착장치의 구조도4. 탄소나노튜브의 합성법 (플라즈마 화학기상증착법)플라즈마 화학기상증착 장치에 대한 개략도4. ... 탄소나노튜브의 합성법전기방전법 레이저증착법 플라즈마 화학기상증착법 열 화학기상증착법 기상합성법4. 탄소나노튜브의 합성법 (1.전기방전법)전기방전장치의 구조도4. ... 영역의 물질2.탄소나노튜브의 발전단계1985년 풀러린(Fullerene)발견 1991년 탄소나노튜브발견, Nature에 처음으로 발표. 1993년 단중벽 나노튜브합성 1996년 레이저증착법-다발형

  리포트 | 20페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.10.25

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  탄소나노튜브를 이용한 기술특허

  본론1) 제조 공정(1) 아크 방전법(Arc discharge)(2) 레이저 증착법(Laser Ablation)(3) 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition)( ... 증착법(Laser Ablation)1995년에 Rice University, Smalley 그룹에서 시작된 방법으로 다음과 같은 과정을 거친다. 1200℃의 오븐 안에 있는 그래파이트 ... target에 레이저를 조사하여 그래파이트를 기화시키고 이때 반응 오븐은 헬륨이나 아르곤 가스를 채워 넣어 압력을 500 Torr 정도로 유지한다.

  리포트 | 23페이지 | 3,500원 | 등록일 2011.11.27

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  탄소나노튜브 성장 기술

  방전법레이저증착법화학기상증착법열분해법HIPCO화학기상증착법탄소를 포함하고 있는 탄화수소기체와 기판으로는 전이금속이 사용됨, 따라서 성장 이전에 스퍼터링이나, 기화법을 이용하여 전이금속 ... 대량합성을 위한 화학기상증착장치(보트형태)보트형태로 공간의 효율적인 사용열화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 제조방법Invar 사용550도 이하 생성Mo와 Cr 사용산성에칭액 사용Sg ... 금속이다.촉매층은 인바를 사용한다.산성에칭액을 사용한다.탄소나노튜브가 34초 이내에 생성이 되어야 한다.금속에서 탄소나노튜브를 분리할 필요가 없다.보트형태보다 대용량 생산이 가능하다.열화학기상증착법을

  리포트 | 15페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.05.10

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