"진공 증착" 검색결과 101-120 / 1,747건

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  ITO glass를 이용한 OLEDPLED 제작 공정 결과

  지금까지의 공정과는 다르게 ITO 부분이 밑으로 가고 마스크가 그 밑에서 받혀주는데, 그 이유는 밑에서 위로 가며 전극이 증착되기 때문이다.진공 분위기에서 증착되야 되기 때문에 질소 ... 이후에 돌아오는 과정도 transfer chamber를 거쳐 glove box로 돌아온다.①EIL과 전극물질을 증착하기 위하여의 열증착기(Thermal evaporator)의 고진공 ... 분위기인 glove box에서 transfer chamber로, 그리고 transfer chamber에서 분위기를 바꾼 후 적합한 진공 분위기인 organic chamber에서 증착시킨다

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.12.16

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  실리콘 웨이퍼 표준 세정, Cr증착, photolithography 공정 최종보고서

  펌프)를 켜고 roughing valve를 열었다.③ 챔버 내의 진공도가 10-3torr 가 되도록 저 진공을 잡았다.④ roughing valve를 잠그고 Foreling valve를 ... 증착[1]증착은 웨이퍼 위에 박막을 형성하는 방법이다. 증착은 크게 물리기상증착(PVD), 화학기상증착(CVD), 원자층 화학증착(ALCVD) 세 가지가 있다. ... 화학기상증착은 화학적으로 반응이 일어나며 일어나는 증착과정으로 투입 물질이 시료와 반응하여 전혀 새로운 물질로 증착되어 박막이 형성되며 물리기상증착은 화학적 반응이 일어나지 않고 물리적인

  리포트 | 17페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.04.01 | 수정일 2020.08.17

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  3주차_아연구리도금합금실험 예비 레포트

  .* 증착도금 : 진공 상태에서 목표 물건과 입힐 금속을 넣고 금속에 열을 가하여 휘산시켜 물건에 붙여 도금하는 방법이다.* 음극분무도금 : 진공 상태에서 입힐 금속을 전극으로 하여 ... 가열과 방전이라는 차이에서 증착도금과 구분된다.합금은 금속에 다른 금속 또는 원소를 합쳐서 얻는 금속 성질을 띤 물질을 말한다. 이는 원래의 금속과는 다른 특성을 지닌다.

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2024.06.15

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  CNT 이론적 배경 및 물성

  고 진공 챔버에서 일어나는 이 증기 또는 증기 상태의 원자 또는 분자는 침전되어 기판 위에 박막 코팅을 형성한다.전자빔 증착 공정으로 증발 될 타겟 재료는 도가니 또는 소켓의 진공 ... 코팅 될 기판은 양극 전하를 갖는 다이오드로서 진공 챔버 내에 그 위에 배치된다.전자빔 증발 시스템은 단일 재료, 로터리 포켓 및 선형 포켓과 같은 3가지 구성으로 증발 될 소스 재료를 ... CVD는 열 화학 기상 증착법(thermal CVD), 촉매 화학 기상 증착법(Catalytic CVD), 플라즈마 기상 증착법(Plasma Enhance CVD)이 있다.CVD는

  리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2022.06.10

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  광전자 분광기술

  여기서는 PPV의 올리고머 형태로 그림에 보인 것처럼 4PV라 명명한 분자를 진공에서 증착하여 약 30 nm 정도의 박막을 형성하고 이때 photoluminescence (PL)을 ... 그런데, 낮은 일함수로 인해서 유기EL 소자의 음극 물질로 많이 사용되는 Ca를 4PV 박막 위에 증착하면 극히 약간만 증착하여도 PL 스펙트럼의 세기가 50 % 이상 감소하는 것을 ... 우선 약 10 - 20 eV 정도의 에너지를 가지는 빛을 발생하는 광원에 대해서 생각해보면, 이 에너지의 빛은 시료가 들어 있는 진공용기에서 모두 흡수되거나 반사되기 때문에 진공용기

  리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2022.01.26

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  전기를 이용한 표면장력 제어 실험 결과레포트1,2(기공실)

  (유리 기판 사용하는 이유 : 표면의 조도, 및 기계적 성질이 우수하기 때문)(2)Metal depositionmetal을 증착한다.(진공안에 아르곤 가스를 넣어준다. ... 이 진공 안에 강한 에너지를 넣어 플라즈마 태로 되어 아르곤가스가 이온화가 되고, 타겟(금속층)에 추돌을 하게 된다. ... over {2(cos theta _{v} -cos theta _{0} ) varupsilon }cos theta _{0} =-0.342020143,#varepsilon _{0} (진공에서의

  시험자료 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.09.20

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  숭실대학교 신소재공학실험2 Oxidation 공정 예비보고서

  금속배선도 증착 방식을 이용한다. 금속을 진공 챔버에 넣고 낮은 압력에서 끓이거나 전기적 충격을 가해주면 금속이 증기 상태로 바뀌며 금속막이 형성된다. ... 박막 증착은 물리적 증착과 화학적 증착으로 나뉜다.물리적 증착은 증착 Source로부터 원자나 분자를 기체 상태로 만들어서 직접적으로 반도체 웨이퍼 표면에 증착하는 방식이다. ... 웨이퍼에 박막을 균일하고 얇게 입히는 것을 박막 증착이라 한다.

  리포트 | 5페이지 | 2,000원 | 등록일 2024.08.26

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  반도체공정 기말정리

  {4 pi rho r _{0}^{2}}Step coverageEvaporation은 고진공 상태에서 진행되므로, 증발 입자의 직진성에 의한 Shadowing effect가 발생하여 ... 이 과정을 고진공에서 진행한다.1) Thermal Evaporation텅스텐 히터로 열을 주면 열이 막대 금속물질을 heating시키고 가열된 필라멘트에 의해 열이 source를 증발시키며 ... 여기에 전자빔이 집중되고 열과 충돌이 발생하면서 vapor가 발생하고 wafer 표면에 증착이 된다.

  리포트 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2022.10.22 | 수정일 2024.04.30

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  [시험자료] 반도체 공정 및 응용 기말고사 정리 (족보)

  Evaporation과 sputtering는 둘다 진공에서 이루어진다.? Evaporation는 금속을 증발시켜 증착시키고? ... 진공이라는 무엇이며, 압력 0.1atm= ( )Pa = ( )bar = ( )Torr = ( )psi? 진공은 1기압 미만으로 정의된다.? ... 증착 속도를 모니터링 하기 위함? 석영 결정? 증착된 막의 두께에 비례하여 결정이 공진 주파수가 변하는데 이를 모니터링함으로서 증착 속도를 측정21.

  시험자료 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2019.12.02 | 수정일 2024.05.14

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  ITO 필름 제조 및 특성평가 발표

  ITO Film 제작1) 진공(저진공→고진공)상태를 만든다. - 보통 7.5X10-4 ~7.5X10-7 Torr사이 를 고 진공 상태라 하는데 Base 상태는 5.0X10-5Torr이다 ... 투명도전성 필름의 방향재료물 그 위에 올려두면 플라 즈마 상태의 Ar+가 음극을 때려 ITO가 증착되도록 한다. -안쪽에 Roll이 존재해 감기면서 증착한다.3. 장비2. ... 경우로 필름이 target 근처에 머무는 시간이 적음 증착되는 ITO의 두께가 얇음장치 가동 초기에는 롤이 회전하지 않음 같은 곳에 ITO가 계속 증착이 되어 색깔이 진하게 나타남무회전

  리포트 | 37페이지 | 5,000원 | 등록일 2020.03.01 | 수정일 2023.04.11

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  백금코팅 나이오븀의 전극 활용 가능성에 대하여 (재료공학실험)

  하지만 원자층 단위로 한층씩 증착하다보니 증착속도는 느린편이다.ALD가 증착되는 방식? 진공펌프를 이용해 챔버 내부를 진공으로 만든다.? ... 먼저 ALD는 원자층 단위로 증착이 가능하기 때문에 다른 증착법에 비해서 매우 미세한 두께까지 증착이 가능하다. ... 위 SEM 사진을 통해서 기판 위에 cycle에 따라 Pt가 잘 증착되었음을 확인할 수 있으며, 증착률은 약 3ANGSTROM /cycle 이 된다.증착횟수두께1두께2두께3평균두께0

  리포트 | 8페이지 | 8,900원 | 등록일 2021.03.24

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  OLED 발표자료 (박막 관련하여)

  )공정 → 셀(Cell) 공정 → 모듈(Module) 공정 봉지(Encapsulation)공정 : LTPS에 유/무기물을 증착하고 봉지로 보호해주는것 박막 봉지 분야 핵심기술 진공 ... 위한 과정에 필요한 방법 유기 발광층의 보조층을 구성하기 위해 사용되는 방법 = 증착 공정 진공챔버 → LTPS 원판 준비 → *파인메탈마스크 원판 준비 → 적정 온도 가열 → 유기물질 ... 주로 트리 메틸 갈륨 등의 유기 금속 화합물을 이용함 무기막 증착 기술 증착 방법을 적용할 수 있는 무기물질은 플라스틱의 유리 전이 온도 보다 낮은 온도에서 증착이 가능 해야하며,

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.12.15 | 수정일 2020.12.17

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  반도체 8대 공정(전공정, 후공정)의 이해

  한미반도체는 진공증착의 일종인 스퍼터링 공정으로 금속 박막을 입혀 전자파 차폐와 발열 문제를 해결할 수 있는 장비를 독점적으로 공급 중이다.② 2.5D 패키지 기술주목해야 할 또 다른 ... 진공 상태에서 낮은 압력으로 만들면 가스 분자끼리의 충돌이 적어 정밀하고 균일한 막질을 얻을 수 있다. 하지만 공정 시간이 길어지는 단점이 있다. ... 증착 방식은 크게 PVD(물리적 기상증착)와 CVD(화학적 증기증착)로 나뉜다. 지금은 CVD 방식이 대세를 이룬다.

  리포트 | 13페이지 | 3,000원 | 등록일 2024.01.14

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  2020 경북대학교 기계공학실험 마이크로표면측정 A+ 레포트

  PVD의 종류로는 진공 증착법, 스패터링법이 있다.그중 진공 증착법은 진공 중에서 금속 혹은 비금속을 가열 증착시켜서, 물건의 표면에 응결시켜 피막을 형성시키는 도금법이다. ... 하지만 진공도가 낮으면 표면에 산화막 등이 생겨서 증착 정밀도가 떨어지기 때문에 고진공이 필요하다. ... 진공증착은 일렉트로닉스 분야에서 뿐만 아니라 플라스틱 필름에 알루미늄 피막을 붙인 포장재료와 장식재료 등, 폭넓은 분야에서 이용되고 있다.

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.01.08

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  OLED 증착공정 분석 결과 레포트

  그리고 hot plate로 용매를 날려준 후 TAPC, mCP, TCz-Trz(10,20,30%), TSPO1, TPBi, LiF/AL 등의 재료들을 진공 증착하여 소자를 제작한다. ... ID & NamePurposeITO 기판위에 OLED를 구성하는 재료들을 증착하여 OLED 소자를 제작한다.ExperimentITO 기판을 증류수와 isopropyl alcohol( ... 증착 후에는 소자를 encap glass에 UV-curable epoxy resin을 도포한 후 봉지한다.Result&DiscussionSampleMax L평균 색좌표EQE(%)J(

  리포트 | 1페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.02.15

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  PLD 사전보고서

  .▶ 물리 증착법 (Physical Vapor Deposition, PVD)진공 속에서 가스화한 물질을 기본 표면에 피복하는 방법으로서, 진공 증착과 스패터링법으로 나뉜다. ... 원료 물질 또한 불가피하게 (부품을 고정시키는 고정 장치를 포함하여) 진공 챔버 내부의 대부분의 다른 표면상에 증착될 수 있다.▶ 펄스레이저증착 (Pulsed Laser Deposition ... 배경 가스의 존재 하(증착된 막을 완전히 산소화하기 위해 oxide를 증착시킬 때 사용되는 산소 같은 것)에 발생할 수 있다.기본적인 설정은 다른 증착법들에 비해 간단하지만, 레이저를

  리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.06.01

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  반도체공학실험 보고서(MOSFET 제작 및 특성 측정)

  다시 sample이 있는 챔버를 진공으로 잡고 두번째 gas를 주입하여 증착시킨다. 이전에 증착된 성분과 반응하여 film을 형성한다. ... 우선 처음에는 sample이 진공에 있는데, 외부 챔버를 통해서 gas가 주입되고 diffusion을 통해서 sample surface로 이동하여 화학적 반응을 하여 증착된다. ... MoO3를 먼저 주입하여 Mo를 증착시키고, sulfur를 주입하여 S를 Mo와 반응시켜 MoS2를 증착시킨 것이다.다음으로는 2번째 part인, Lithography의 실험 방법에

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.01.13

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  삼성전자 메모리사업부 공정기술 인턴 합격 자기소개서

  그 결과 체임버의 진공도가 점점 나빠지고 있었음을 확인했습니다. ... 기판에 박막을 수 nm 두께로 조절하며 증착하기 때문에 초기에 초당 Deposition rate를 측정하여 확립하는 것이 중요합니다. ... 저는 기판에 10분 간 증착을 진행한 후, Alpha step을 이용해 두께를 측정한 뒤, 이를 플로팅하여 Rate를 구하려고 했습니다.

  자기소개서 | 5페이지 | 3,000원 | 등록일 2023.02.09

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  2-3. AMOLED Full Device - Small molecule report (A+)

  토의 및 고찰OLED 재료의 Requirement는 다음과 같다.① High purity (색 순도와 발광 특성을 올려주기 위해 필요)② 진공 증착을 하기 때문에 열 안정성(T _{ ... 증착속도는 1ANGSTROM /s, 두께가 얇은 만큼 빠른 속도로 증착하지 못한다.)⑦ TCTA를 5nm 증착한다. ... (증착속도는 1ANGSTROM /s)⑧ CBP 물질을 15nm 증착하는데, Irppy3을 8% 도핑해준다.⑨ LiF를 1nm 증착한다.

  리포트 | 9페이지 | 15,000원 | 등록일 2023.07.30 | 수정일 2023.08.18

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  RF Sputter를 이용한 InGaZnO(IGZO) 박막증착 레포트

  (벤팅을 잠그지 않으면 진공이 잡히지 않는다.)진공을 LV-rotary pump를 이용하여 약 Torr 잡고 rotary valve를 open 시킨다.Ar gas를 50sccm 으로 ... 그 과정을 보면 진공 chamber 내에 Ar, Ne 등의 비활성기체를 넣고 cathode에 전압을 가하면 cathode로부터 방출된 전자들이 Ar 기체원자와 충돌하여, Ar을 이온화시킨다.Ar ... RF Sputter를 이용한 InGaZnO(IGZO) 박막증착김OO1. 실험 제목 : rf sputter를 이용한 InGaZnO(IGZO) 박막증착2.

  리포트 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.11.06

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