H AnalysisAlternative SputteringNon-destructionQuantitative Analysis (Standard sample)RBSAES, XPS ... 크기의 빔만 통과시키는 기능 백그라운드원이 됨 - Carbon colimater 씀 첫번째 콜리메이터 지름 : 1.78mm 두번째 콜리메이터 지름 : 2.0mm Faraday cup ... 전하를 반입하여 직류 고전압으로 한꺼번에 입자를 가속하는 가속기ChamberDetector : SSB Detector Si(Li) Detector Collimator Faraday cup