PDMS (poly dimethyl siloxane stamp)

소개글

PDMS에 관한 장,단점 및 원리 그리고 괜찮은 그림, 사진이 담겨 있습니다.

목차

1. PDMS의 장단점

2. PDMS의 원리

1) Nano transfer Printing

2) Decal Tranfer Lithography (DTL)

본문내용

1. PDMS의 장•단점
1) 장점
- PDMS는 화학적으로 안정하므로 낮은 표면 에너지(21.6 mJ/m2)값을 가지고 있어 다른 물질과 반응하지 않고 쉽게 분리되며, 물을 머금어 휘는 swelling 현상을 일으키지 않는다.
- 가스를 쉽게 통과시키며 열에 안정(~186℃)하고 300nm 파장의 빛까지 통과시킬 수 있어 자외선에 의해 경화되는 고분자를 성형할 수 있다.
- 결정 구조상으로는 등방성을 지니며 계면특성을 쉽게 조절할 수 있고 동일 금형을 50회 이상 사용가능하므로 금형으로서 적합한 물질이라고 할 수 있다.

2) 단점
- PDMS는 기계적 강도가 작기 때문에(Young`s modulus~1.8 MPa) 400nm 이하의 구조물이나 종횡비(폭과 높이의 비율)가 큰 구조물을 성형할 때, 혹은 고압이 가해지거나 넓은 면적을성형할 때, 금형이 변형되어 원하는 구조물을 얻을 수 없다


2. PDMS의 원리
1) Nano transfer Printing
1) PDMS 패턴위에 금속을 미리 증착한다.

참고 자료

1. 소프트 리소그래피와 표면처리를 이용한 금속 패터닝
2. 고분자 금형을 이용한 소프트 나노임프린트 리소그래피 (박찬익, 정훈의, 서갑양 / 서울대학교 기계항공공학부)
3. Unconventional methods for forming nanopattern (M E Stewart, M J Motala, Jimin Yao2, L B Thompson, and R G Nuzzo)