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디스플레이 공학실험 TFT-LCD 제조실험

*범*
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최초 등록일
2007.12.04
최종 저작일
2007.12
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소개글

학교에서 디스플레이 제작 실험을 총자료를 망라하여 작성한 결과레포트 입니다-
실험 순서와 그에 대한 의미, 그리고 이론과 discussion까지 그냥 제출하셔도 될 정도로 알차게 작성하였으니 유용하게 쓰시고 좋은 점수 받으시길 바랍니다-

목차

이론

1. TFT-LCD 제조기술
2. TFT-Array 공정
3. Color Filter 제조공정
4. 액정 Cell 공정
5. TFT-LCD 부품 및 소재 기술
6. TFT(Thin Fim Trasistor)의 특성
Discussion

본문내용

TFT-LCD 제조기술

Flat Panel Display 중에서 a-Si TFT-LCD는 Note book PC 응용을 시작으로 Monitor 등 다른 응용 분야로 그 비중이 점차 증대 되고 있다. TFT-LCD 산업의 발전과 그 응용의 보편화는 크기의 증가와 해상도 증가에 의해 가속되었으며, 현재는 생산성 증대와 저가격화가 관건으로, 이를 위한 시도는 제조 공정의 단순화와 수율 향상의 관점에서 제조 업체는 물론, 관련 재료 산업과 제조 장비 업체의 공동의 노력이 요구되고 있다. TFT-LCD Panel의 제조는 Pixel 단위의 신호를 인가하는 Switching 소자들을 형성하는 TFT Array 공정과 색상을 구현하기 위한 Color RGB Array를 형성하는 Color Filter 공정, TFT 기판과 Colir Filter 기판 사이에 서 액정 Cell을 형성하는 액정 공정으로 나눌 수 있다.
1. TFT-LCD 제조기술

TFT 기판이나 C/F 기판의 제조 기술에서 TFT-Array를 형성하는 공정은 Silicon 반도체 제조공정과 유사하다. 즉, 박막증착(Th in Film Deposition), 사진,(Photolithography), 식각(Etching) 등의 공정으로 이루어져 있으며, 개개의 공정 전후에 결과 및 이 상 여부를 확인하기 위한 검사와 청정도를 유지하기 위한 세정을 포함한다. 상기의 단위 공정 들은 각각의 Layer를 형성하기 위 하여 일련의 반복된 공정으로 진행되며, 전·후 공정과 상호 밀접한 관련이 있다. Silicon 반도체 공정과 다른점은 반도체 제조 에서는 Silicon Wafer를 복잡한 공정을 거쳐서 가공하여 소자를 만들지만 TFT-LCD 제조에서는 LCD 화면의 크기가 결정되어 있으 며, 오히려 요구되는 화면의 크기가 증가하고 있으므로 기판의 크기 증대를 통해서 생산 수량을 증가시킬 수 잇다. TFT-LCD 제품 특성의 최적화는 단위 공정 조건의 최적화를 바탕으로 개개의 공정들이 상호 조화롭게 통합될 때, 이루어질 수 있으므로 단위 공정의 안정과 개발은 TFT-LCD 제조의 시작이다.

참고 자료

없음
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