SEM powder sample의 제작방법

소개글

SEM관찰을 위한 powder sample의 제작방법을 분야별로 조사한 레포트입니다.

목차

1. 일반적인 시료 제작 방법
2. 시료제작에 필요한 물품
3. 시료코팅의 목적과 방법
4. 비 생물 시료의 제작법
5. 생물 시료의 제작법
6. Powder시료의 제작방법

본문내용

1. 일반적인 시료 제작방법

- SEM의 시료제작법은 기본적으로 광 . 투과 전자 현미경(TEM)에 응용되어 온 방법을 기본으로 하고 있으나, SEM 특유의 관찰조건 때문에 시료제작법을 그대로 적용하는 것만으로는 불충분하여 고 진공도를 유지시킬 것과 시료표면을 변형시켜서는 안 될 것 등 관찰표면이 시료의 표면 형태로 제한되어 있기 때문에, 시료 제작법도 SEM 관찰조건에 맞는 방법을 선택해야할 필요가 있다. SEM으로 시료를 관찰할 경우, 시료에 따른 조건이 있다. 이 조건을 갖추기 위해 시료제작이 필요하다. SEM에서 관찰이 가능한 시료의 크기는 장치에 따라, 표준 stage, 대형 stage등 여러 종류의 stage가 있으며, 그 이용 목적과 stage크기에 맞게 시료 제작을 세분화해야만 한다. 시료는 진공 중에서도 같은 형태를 유지해야 하며 특히 생물, 식물시료와 수분을 가지고 있는 시료의 경우, 시료를 고정, 탈수, 건조 등의 전처리가 필요하다. 시료는 전자선의 조사에 의해 2차 전자, 반사 전자, 흡수 전자, 투과 전자 등이 발생되며, 그 중 흡수 전자는 도전성의 시료인 경우에 stage를 통해 접지된다. 그러나 비도전성 시료인 때에는 시료 내부와 시료표면에 전자가 모여 charge-up현상을 일으킨다. Charge-up이 생기면 정상적으로 상을 관찰하기 어렵게 되며, 동시에 2차 전자의 발생이 불안정하게 된다. 그 결과, SEM상에 장애가 일어나 안정된 상 관찰이 불가능하게 된다. 이러한 charge-up을 방지하기 위하여 상 관찰 전에, 진공증착장치, 이온코팅장치 등을 사용해 탄소, 금, 금-팔라듐, 백금-팔라듐 등 시료표면에 코팅해야 할 필요가 있다. 시료의 코팅은 관찰목적에 따라 코팅의 두께를 변화시켜야 한다.

참고 자료

- http://blog.naver.com/ba201?Redirect=Log&logNo=20030254861
- http://user.dankook.ac.kr/~enerdine/sem.htm
- http://www.microscope.wo.to