기초진공의 이해와 각종펌프

소개글

반도체 공정에 대한 기초 진공과 각 펌프에 관한 내용 입니다.

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목차

진공이란?
기초 진공의 이해
펌프의 종류와 원리
진공의 역사와 현재 동향

본문내용

진공(眞空 )이란 무엇인가? ?
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진공이란 말은 라틴어“vacua”라는 말에서 유래된 것으로 “비어있다”는 의미 이다.
실제로 진공은 단지 부분적으로 비어있는 공간을 의미한다.
진공에서는 일정한 부피의 공기와 다른 기체들이 제거 되어진다.
이 부피공간을 보통 “작업 진공용기(work chamber) “ 라 부르고, 진공과 바깥의 공간은 분리된다.
진공의 더 실질적인 개념은 일정한 공간이 주위대기보다 적은 기체들을 함유한,대기보다 압력이 낮은 것을 말한다.
주위의 기체들은 용기의 표면에 어떠한 힘을 가하는데, 이 힘을 압력이라고 부른다. 압력은 chamber 의 압력과 바깥의 대기 압력을 비교 함으로서 측정할 수 있고, 이 방법으로 진공 안에 얼마나 많은 기체들이 남아 있는지 알 수 있다.

진공을 만들기 위해서는 알맞은 펌프를 선택하는 것은 매우 중요하다. 여러 펌프들이 이런 진공작업에 사용되는데 어떤 펌프는 chamber로부터 기체를 제거하고, 그 외의 다른 펌프들은 기체를 포착 하거나 그들의 형태를 바꾼다.
펌프의 동작범위는 각각 다르며 대부분의 경우 한 개의 펌프로는 우리가 원하는 진공 범위를 만들지 못한다.
그러므로 여러 개의 펌프를 적절히 조합하여 사용한다
펌프의 종류와 원리
앞에서 언급했듯이 하나의 펌프로부터 고 진공과 초고진공 범위까지 만드는 것은 기대할 수 없다. 특별한 압력에 도달하고 유지하기 위해서 둘 또는 그 이상의 펌프가 이용되어져야 한다.

고 압력에서 어떤 펌프는 동작하지 않고 심지어 시스템을 오염시킬 것이다.
만일 공정 압력과 시스템이 요구하는 압력이 둘 다 러프진공 범위에 있다면 하나의 러핑 펌프 만으로도 가능하다.

이제는 러핑 펌프의 종류와 간단한 원리에 대해서 말해보자.
펌프의 동작범위는 각각 다르며 대부분의 경우 한 개의 펌프로는 우리가 원하는 진공 범위를 만들지 못한다.
그러므로 여러 개의 펌프를 적절히 조합하여 사용한다.

참고 자료

없음