나노구조물을 합성하는 방법중 저항가열에 의한 물리적 기상증착을 적용한 방법

소개글

다공성 알루미나 박막을 주형으로 이용하여 나노구조물을 합성하는데 사용되는 CVD방법
대신 저항가열에 의한 물리적 기상증착을 적용하여 다공성 알루미나 박막 주형의 세공직경과
벽 두께에 따라 합성되는 구조물의 형태를 조사한 발표 한거에요~

목차

1. 실험 목적
2. 나노 구조물을 제작하기 위한 방법(1)
3. 양극 산화 다공성 알루미나 박막의 특성(1)
4. 현재 연구 및 응용분야
5. 실험 방법(2)

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7. 결 론

본문내용

2. 나노 구조물을 제작하기 위한 방법(1)

- 전자선 식간 (Electron Beam Lithography)
- 분자선 적층성장 (Molecular Beam Epitaxy)
- 스퍼터링 (Sputtering)
- 화학적 기상 증착 (CVD)
⇒ 저 생산율 고가장비의 소요, 나노 구조물들의 불규칙한 모양과 크기 및 배열, Substrate와 나노구조물 사이의 불량한 흡착 등의 결점
(비효율적, 비경제적)

참고 자료

없음