[화학공학] 박막의 표면처리 및 식각공정(예비)

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최초 등록일: 2005.07.04
최종 저작일: 2005.05; 8페이지/ 한컴오피스; 가격 1,500원

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(1) 플라즈마 (Plasma) 란?
1. 플라즈마 상태
일반적으로 물질은 고체, 액체, 기체의 여러 가지 상태가 있으며 그들 상태의 기본적인 구성요소는 분자 혹은 원자가 여러 개 모인 분자 또는 화합물이다. 플라즈마는 원자 및 분자 또는 화합물을 구성하는 전자가 핵의 속박에서 벗어나 자유롭게 움직이며 돌아다니는 상태이다. 즉, 플라즈마는 음전하를 띤 전자와 양전하를 띤 이온의 집합체로 구성되어 있다. [그림 1]에 보이는 것처럼 물질을 플라즈마 상태로 만들기 위해서는 원자핵에 속박되어 있는 전자에 에너지를 인가하여 전자를 그 속박에서 벗어나게 하여야 한다. 보통의 상온, 상압에서는 고체상태의 물질에 에너지를 주어 고온으로 만들면 용해되어 액체상태가 되고, 더욱 에너지를 주어 고온으로 만들면 증발하여 기체 상태가 되고 기체에 더욱 에너지를 주게 되면 다음 단계로 통상 물질의 제 4 의 상태 (the fourth state of matter) 라 불리는 보다 높은 에너지 상태를 갖는 플라즈마 상태가 된다.

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