SEM, TEM 및 Ellipsometry

*찬*

최초 등록일: 2004.12.06
최종 저작일: 2004.11; 13페이지/ 한컴오피스; 가격 1,000원

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1. T.E.M. (Transmission electron microscope)

투과전자현미경(TEM:transmission electron microcope)은 생물, 의학, 재료 등 거의 모든 자연과학과 기술의 연구에서 필수적인 도구로 활용되고 있는 데, 이는 전자현미경의 해상력이 뛰어나서 미시적인 내부구조를 고배율로 확대하여 직접 관찰할 수 있고 마이크론 이하의 국부적인 영역의 화학조성까지도 정확하게 분석할 수 있기 때문이다. 재료의 모든 물리, 화학적인 성질은 미세조직과 직접적으로 연관되어 있어서 조직을 구성하고 있는 각종 상과 결함의 종류와 밀도, 형상과 크기 및 분포, 화학조성 그리고 국부적인 편석 등에 대한 정확한 계측을 필요로 한다. 물질의 미세조직과 관련하여 고분해능(High Resolution) 투과전자현미경(HRTEM)으로는 원자크기 정도의 미세조직과 약 1,000nm3 이하의 작은 부피를 구성하고 있는 미세조직 구성성분에 대하여 구조와 화학성분을 정량화할 수 있다. 특히 지난 20여년에 걸쳐 이 재료과학의 발전과 다양한 종류의 산소재의 개발에는 투과전자현미경의 역할이 매우 컷다고 말할 수 있다. 그림 1은 본원에 도입된 가속전압 300keV의 HRTEM으로 분해능은 0.18 nm이다

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