[진공 및 증착기술] 진공, CVD 및 PVD

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목차

1. 진공의 기초
1) 진공이란
2) 진공의 필요성
3) 진공의 역사
4) 진공의 분류

2. 진공장비(펌프)의 종류 및 특징
1) 펌프의 선택
2) 진공펌프의 분류
3) 펌프의 사용방법
4) 저진공펌프의 종류
5) 고진공펌프의 종류

3. CVD와 PVD 증착법의 원리와 차이점
1) CVD
2) PVD
3) CVD와 PVD의 차이

본문내용

‘진공(vacuum)'이란 원래 라틴어로 'vacua', 즉, 기체(물질)가 없는 공간의 상태를 의미하며 이런 이상적인 진공상태일 때 기압(압력)은 영이 된다. 하지만 실제로 이렇게 완전한 진공상태의 제작은 불가능하다. 우주 공간의 경우도 미약하지만 물질의 입자들이 계속 움직이고 있기 때문에 기압이 지구상의 대기압의 약 1017분의 1정도는 된다.그러면 우리가 주변에서 자주 사용하는 ‘진공’이란 무엇인가? 넓은 의미로 정의하면 대기압보다 낮은 기체의 압력상태를 말한다. 이는 일상생활 주변에 있는 많은 제품들이 직접 또는 간접적으로 진공에 관련이 되어있다. 진공보온병, 진공청소기, TV 브라운고나, 안경의 코팅, 향기로운 인스턴트 커피, 식품 포장, 네온사인 등 일상생활에 관련된 것 등 많은 것들이 진공공정과정을 통하여 만들어진다. 각종 진공관련 산업이 급속도로 발달함에 라 진공제작 기술도 많은 발전을 하였다. 그럼에도 불구하고 현재로는 기체가 전혀없는 ‘완전진공’의 의미로서의 진공은 여전히 제작이 불가능한 일이다.

참고 자료

없음