[플라즈마] PDP 에서 사용된 플라즈마

소개글

텀프로젝트로 수행하였던 플라즈마 조사 리포트입니다.

목차

1. 플라즈마 정의
2. 플라즈마 성질
3. 플라즈마 진단 장치
4. Langmuir probe에 의한 실험
5. 데이터 분석 및 고찰
6. 플라즈마의 응용
7. 결론( Term paper를 준비하면서 느낀점과 자신의 생각)
1. 이원두
2. 이정민
3. 박득용
4. 김정현

본문내용

플라즈마 상태는 그 밀도와 온도를 그 주 파라미터로 사용하며 이 두가지 요소에 따라 우리주변에서도 쉽게 찾아 볼 수 있는 플라즈마 상태들, 즉, 네온사인이나 형광등으로부터 시작하여 북극의 오로라, 태양의 상태, 핵융합로에서의 플라즈마 상태등 광범위하게 분류되어질 수가 있다.
플라즈마라는 용어가 일반인들에게는 생소하게 들릴지는 모르지만 각 가정에서 조명등으로 사용하고 있는 형광등이나, 길거리에서 흔히 볼 수 있는 네온사인, 한 여름에 소나기가 쏟아지면서 자주 발생하는 번갯불과 같은 것들이 플라즈마 상태라고 하면 이해하기가 쉬울 것이다.
이중 공업적으로 이용이 활발한 플라즈마는 저온 글로우 방전 플라즈마로서 반도체 공정에서 플라즈마 식각(Plasma Etch) 및 증착(PECVD: Plasma Enhanced -Chemical Vapor Deposition), 금속이나 고분자의 표면처리, 신물질의 합성 등 에서 이용되고 있으며, 공정의 미세화, 저온화의 필요성 때문에 플라즈마 공정이 종래의 공정을 대체하고 있으며, 경우에 따라서는 플라즈마만이 제공할 수 있는 물질이나 환경을 이용하기 위한 응용분야가 점점 더 확대되고 있다.

참고 자료

참고자료
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• 참고사이트
http://www.mocie.go.kr/ - 산업자원부
https://www.samsungsdi.co.kr/ -삼성 SDI
http://www.lgphilips-lcd.com/ - LG 필립스
http://www.seri.org/ - 삼성경제연구소
http://www.lgeri.com/ -LG경제연구소
중앙대학교 플라즈마 연구소