[분석화학] ATM(원자간력현미경)

소개글

ATM(원자간력현미경)의 원리

목차

1. 서론
2. 장치 제작
2.1. 작동 원리
2.2. 장치 구성
2.3. 보정 및 측정
3. 스테인레스 강판에의 응용
4. 결론

본문내용

1982년 Binnig와 Rohrer에 의해 개발된 주사형 원자 현미경은 기존의 촉침식이나 광학식 방법보다 월등한 해상도로 재료 및 소재의 표면 거칠기와 형상을 측정할 수 있어 최근 그 응용 범위가 크게 확대되고 있다.1,2) 이들은 뾰족한 팁과 시료 표면에서 Å 이하의 정밀도를 가지고 움직일 수 있는 압전 소자로 구동되는 것이 기본 원리이다.
주사형 원자 현미경의 일종인 원자간력 현미경 (Atomic Force Microscopy, AFM)은 팁과 시료의 표면에 작용하는 미세한 원자간력을 측정하여 재료 표면의 형상과 거칠기를 측정할 수 있는 기기로써, 대기 중에서도 사용이 가능하며 부도체나 전도체 모두 측정이 가능하기 때문에 가장 활발히 이용되고 있다.3) 특히 반도체 기판용 실리콘 웨이퍼의 표면을 검사하는데 있어서 기존의 광학식 방법의 한계를 극복한 방법으로써 각광을 받고 있으며, 금속 재료의 표면 관측에도 다양하게 응용이 되고 있는데, 베어링이나 절삭 공구의 표면 거칠기 측정과 항공기 동체나 자동차 표면의 특성 연구에도 이용되고 있다.4,5)

참고 자료

(1) G. Binnig, H. Rohrer, C. Gerber, E. Weibel, Phys. Rev. Rev. Lett. 50, 120 (1983).
(2) D. Ruger and P. Hansma, Phys. Today, pp23, October, (1990).
(3) G. Binnig, C. F. Quate, C. Gerber, Phys. Rev. Lett. 56, 930 (1986).