[광전자]RBS analysis in thin film

소개글

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광전자의 RBS스펙트럼중점으로, 다뤘습니다.
발표자료구요, 사진 및 이론 및 관련분야 등 많은 정보가 있습니다. 특히 자료 사진이 많이 있습니다.
많은 이용 부탁이요.

목차

개요 및 원리

물리적 개념
1.장비의 구조
2.RBS 스펙트럼
3.기타 표면분석기술과 비교
4.장단점

본문내용

장점
Non-destruction method
Get the data quickly and exactly (10-15min)(Depth profile of the element’s composition)
Standard sample is not needed.(Quantitative analysis)
Ultra high vacuum is not needed.(10-6torr)
Can be able to analysis of structures by channeling effect

단점
Small amount of sample is impossible to analysis of element
Resolution is not good.
Pre-information is needed. ( Ex : Elements )
When the element is low(light) smaller than substrates, analysis of quantitative is unreliable.( Ex : The elements (H, B, C, N, O, F) is deposited on the Si substrates)

PIXE의 원리 고에너지로 가속시킨 양성자를 시료에 조사시키게 되면 원자 내의 내각전자들이 에너지를 받아서 여기하게 된다. 이와같이 생성된 빈 공간을 외각에 있는 전자들이 채우게 되며 이때 전자의 에너지 준위 차이 만큼의 에너지가 X-선 또는 Auger 전자로 방출되게 된다. 이와같이 발생되는 특성 X-선의 경우 원소마다 고유한 에너지 값을 갖게 되므로 X-선의 에너지와 발생 빈도를 측정하면 그 시료의 정성 및 정량 분석이 가능하여 진다.

참고 자료

파워 포인트인데, 아주 깔끔하게 정리 하였습니다.
후회는 안하실 겁니당.