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[현미경] 원자현미경

*경*
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최초 등록일
2004.03.07
최종 저작일
2004.03
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소개글

나노 기술에 있어서 원자 현미경의 중요성을 말하고 있습니다. 원자현미경이 특성과 원리도 포함합니다.

목차

1. 원자현미경의 발전과 중요성
2. 원자 현미경의 종류에 따른 특성
(1) AFM
(2) STM
(3) LFM
3. APPLICATION

본문내용

1. 원자 현미경의 발전과 중요성

나노 세계를 여는 원자 현미경
O 고분자 공학, 반도체 산업, 생명공학, MEMS 등 나노기술의 중요성과 더불어 원자단위의 정밀도 를 가지는 현미경의 필요성이 대두
제1세대인 광학현미경, 제2세대인 전자현미경, 제3세대 원자현미경
O 1980년대에 발명된 원자현미경(SPM:Scanning Probe Microscope)
O 원자현미경의 효시는 STM(Scanning Tunneling Microscope) 가장 널리 쓰이는 원자현미경은
AFM(Atomic Force Microscope)
O 그이후 MFM(Magnetic Force Microscope), LFM(Lateral Force Microscope), FMM(Fore Modulation Microscope), EFM(Electrostatic Force Microscope), SCM(Scanning Capacitance Microscope), STM(Scanning Thermal Microscope)등 사용원리와 용도에 따른 많은 종류의 원자현미경이 개발

원자 현미경의 특성과 중요성
O 원자현미경의 배율은 최고 수천만 배로서, 개개의 원자를 관찰할 수 있는 분해능 가지고 있음.

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