[mahobife]turbodrag pump 조사 보고서입니다.
- 최초 등록일
- 2017.12.09
- 최종 저작일
- 2010.12
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소개글
진공 및 플라즈마 수업에 제출했던 터보드래그 펌프 조사 리포트입니다.
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목차
1. 소개
2. 구조
3. 원리
4. 기능 및 특징
5. 어디서 사용하는가?
6. 참고문헌
본문내용
1. 소개
터보드래그 펌프는 이름에서 알 수 있듯이 터보 분자펌프와 분자 드래그펌프를 혼합하여 만든 것이다. 복합분자펌프(compound molecular pump)라고도 한다 터보 분자펌프의 경우 배압에 따른 최대압축비를 보면 분자 드래그펌프에 비해 더 높은 최대압축비를 가질 수 있으므로 도달 압력을 낮추기가 좋다. 반면 분자 드래그펌프의 경우 흡입압에 따른 배기효율을 보면 터보 분자펌프보다 한두 차수 더 높은 압력에서도 작동이 잘 되는 것을 알 수 있다. 따라서 터보 분자펌프와 분자 드래그펌프를 조합하여 도달압력이 낮으면서 작동압력이 높은 펌프를 만들 수 있다. 또한 이 복합분자펌프는 높은 배기구 압력(대기압까지도)에서도 배기작용이 가능하다.
참고 자료
황영규 (2000). 터보형 고진공펌프의 기술 현황. 기계저널 40, 10(2000.10) pp.50~53 1225~5955
배석희, 인상렬, 정광화, 이영백, 신용현 (2000). 진공공학. 서울: 한국경제신문
(주)고려큐앰에스. Retrieved October 01, 2010, from http://www.koreaqms.com/customer/news_view.php?smenu=E&idx=99874&page=510&search=&key