RF 열 플라즈마를 이용한 나노분말 제조

*민*

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최초 등록일: 2017.11.11
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RF플라즈마 열 발생 원리
코일을 감아 임피던스 정합회로 형성
↓
고주파 AC전원에 연결
↓
유도전류 형성, 자기장 형성
↓
코일을 따라 회전, 열효율 증가
↓
초고온 열원을 형성

☞ 토치의 구조
• 열 플라즈마의 발생구역인 토치 전극부
• 원료분말이 증발, 기화되어 원자수준의 입자를 만드는 열영역(hot zone)
• 증발/기화과정을 거쳐 작아진 입자를 가스에 의해 급속 냉각시키며 나노입자를 결정화시키는 냉각영역(quenching zone)

참고 자료

없음

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