MEMS 기술과 나노기술을 이용한 마이크로(유비쿼터스)

목차

1. MEMS ?
2. MEMS기술을 이용한 제조공정
3. 바이오멤즈
4. NANO BIO TECHNOLOGY4.
5. 나노바이오기술의전망

본문내용

미세전자기계시스템,실리콘이나 수정,유리 등을 가공해 초고밀도 집적회로, 머리카락 절반 두께의 초소형 기어,손톱 크기의 하드디스크 등 초미세 기계구조물을 만드는 기술을 말한다. 멤스로 만든 미세 기계는 마이크로미터(100만분의 1 미터) 이하의 정밀도를 갖는다.
구조적으로는 증착과 식각 등의 과정을 반복하는 반도체 미세공정기술을 적용해 저렴한 비용으로 초소형 제품의 대량생산을 가능케 하고,구동력은 전하간에 서로 당기는 힘인 정전기력과 표면장력 등을 이용해 전류를 발생시켜 전력소비량을 크게 낮추는 원리를 적용한 것으로 나노 및 시스템온칩(SoC) 기술의 등장과 함께 중요성이 날로 부각되고 있다. 멤스는 20세기의 대표적인 산업기술인 반도체 기술에 버금가는 21세기 최대 유망 기술로 현재 멤스 기술의 응용 범위는 자동차 에어백의 가속도 센서나 잉크젯 프린터 헤드 등에서 벗어나 유전자 정보 해독을 위한 바이오칩 등 생명의료 분야, 무선부품, 광부품, 미세기계 분야로 급속히 확산되고 있다.

1.1. MEMS 기술의 실용화와 발전 전망

1970년대에 이르러 실리콘 다이아프램을 이용한 압력 센서의 시제품이 출현하고, 실리콘의 결정 의존성 식각(ODE) 기술이 정립되면서부터 MEMS 기술 개발이 본격적으로 시작되었고 이후로 30여 년이 지난 오늘날 MEMS 기술은 기술 및 실용적인 면에서 성공한 분야로서 자리매김을 하게 되었다. MEMS 기술로 만들어지는 대표적인 부품 및 시스템으로서 압력센서와 관성센서류, 잉크 젯 헤드, 마이크로 미러를 이용한 프로젝터인 DLP, 그리고 무선통신용 부품 등을 손꼽을 수 있으며, 이들은 자동차, 가전, 그리고 통신 분야에서 필수불가결한 요소들이 되고 있다.

참고 자료

MEMS Fabrication Technology 동아대학교 기계공학과 연구실
MEMS motion sensors, STMicroelectronics (2009.7.).
http://mbel.kaist.ac.kr/lab/research/nanobiotechnology(2).htm 바이오멤즈 기술