전계방사형주사전자현미경 FE-SEM 원리

목차

Ⅰ.Introduction

Ⅱ. Theory
1. 분해능과 피사계심도
2. 전자종류와 기기구성

Ⅲ. Experiment
1. 시편 제작과정
2. ESEM Operating

본문내용

주사전자현미경 or 전자주사현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)
● Electron source (electron gun)으로부터 방출된 electron beam이 시편에 주사되면서 시료와 전자간의 상호작용에 기인한 이차적으로 발생되는 다수의 전자를 검출하여 시편 표면을 관찰하는 전자현미경.
● 재료조직, 상변태, 미세조직, 거동관찰, 성분분석 등.
● 금속재료, 무기재료, 고분자재료, 전자재료, 생체재료의 미세구조 및 특성평가에 활용하는 것과 같이 다양한 분야에서 광범위 하게 사용.

1. 정의: Electron source로부터 방출된 electron beam 이 시편에 주사되면서 이때 이차적으로 발생되는 다양한 전자를 이용하여 시편 표면의 미세조직을 관찰하는 장비이다. 재료조직실험, 상변태, 미세조직, 거동관찰, 성분분석, 재료파단 특성분석 등 금속재료, 무기재료, 고분자재료, 전자재료의 미세구조 및 특성평가에 활용.
2. 역사: 1932년 투과전자 현미경이 발명된데 이어 1942년 미국의 zworykin에 의해 주사전자 현미경이 발명됨. 1965년 빔의 주사기술과 전자제어기술이 개선되어 최초로 시판, 상용화.

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참고 자료

없음