MEMS

*민*

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최초 등록일: 2011.06.08
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세라믹설계

본문내용

MEMS의 정의

현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가
공상 소설의 영역을 벗어나 이제 현실 공학의 새로운 분야로 정착

MEMS = Micro Electro Mechanical Systems 의 약자

마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 라고 혼용가능
초소형 시스템 또는 초소형 기계 의미
기술개발 과정 명은 초소형 정밀기계 기술개발
실리콘이나 수정, 유리 등을 가공해 초고밀도 집적회로, 초미세 기계구조물을 만드는 기술

MEMS의 역사

1960년대
MEMS는 실리콘 가공기술에서 시작
최초의 연구는 실리콘 기판상에서 미세 기계요소
밸브, 모터 등의 부품을 2차원평면으로 제작한 것이 시초
Sensor에 의해 제어가 가능한 Micro Actuator를 접적화하여 시스템을 구현

1970년대
이방성 에칭을 이용한 device 연구
3차원 구조를 가진 광학 디바이스 연구

1980년대
기판에 손대지 않고 박막으로 etching하여 구조물 만듦
표면 미세 가공 기술 사용
3차원 구조 반도체에 비해 두께가 훨씬 큼

참고 자료

없음

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