Focused Ion Beam (집속 이온 빔)

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최초 등록일: 2009.05.26
최종 저작일: 2008.12; 17페이지/ 어도비 PDF; 가격 2,000원

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소개글

집속 이온 빔을 사용하는 연구실의 홈페이지를 찾아다니며
발표된 논문이나 소개글을 많이 참고 하였습니다.

본문내용

What is the FIB
FIB (Focused Ion Beam)란
Focused Ion Beam은 구조적으로 Scanning Electron Microscope 과 유사 하지만, Focused Beam을 Chanber안에 있는 샘플의 이미지를 얻는데 사용을 하는 SEM과 달리,FIB는 갈륨 이온의 Focused Beam을 사용한다.
-> 갈륨을 사용하는 이유는 Liquid Metal Ion Source 를 만들기에 쉽기 때문

Focused Ion Beams (FIB) 은 micro- 와 nano- 단위의 해석에 있어서 매우 유망한 장비이다.

LMIS (Liquid metal ion source)란
갈륨메탈은 텅스텐과 접촉되어 있는데, 거대한 electric field로 인해갈륨 원자가 이온화가 되거나, field emission을 하는 현상

참고 자료

없음

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